400波長(zhǎng)以上的多頻分光法,量測(cè)出橢圓偏光光譜。
自由變換反射量測(cè)角度,可得到更詳細(xì)的薄膜解析數(shù)據(jù)。
反射角度自動(dòng)可變的測(cè)量方式,對(duì)薄膜測(cè)量有更高的分析。
搭載有薄膜解析所需的全角度同時(shí)測(cè)量功能。
測(cè)量晶圓與金屬表面的光學(xué)常數(shù)(n:屈折率,k:衰減係數(shù))。
橢圓偏光儀 FE-5000反射式膜厚量測(cè)儀 FE-3000
膜厚光譜分析儀系統(tǒng) MCPD series
膜厚分析儀FE-300