產(chǎn)品品牌：

美國SMI

產(chǎn)品型號：

SM54系列 SM56系列 SM58系列

制作工藝：

集成

輸出信號：

數(shù)字型

美國SMI公司的硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器件和傳感器晶圓；產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車制造、醫(yī)療設(shè)備和工業(yè)生產(chǎn)：如胎壓檢測、引擎控制、呼吸機、監(jiān)護儀、氧氣瓶、風(fēng)速計、血壓計、空調(diào)系統(tǒng)等相關(guān)產(chǎn)品。 美國SMI微壓傳感器的技術(shù)原理 美國Silicon Microstructures INC.開發(fā)了一系列價位低、線性度在0.3%到0.05%范圍內(nèi)的硅微結(jié)構(gòu)壓阻式傳感器，滿量程為0.15psi(1KPa)、0.3psi(2KPa)、0.8psi(5KPa)、1.5psi(10KPa)、3 psi(20KPa)、滿量程為0.15psi(1KPa)，被列為超低壓力測量范圍。 美國SMI廉價的壓阻式、超低壓傳感器成功的關(guān)鍵是它的創(chuàng)新的物理刻蝕設(shè)計。一般來說,硅微壓力傳感器芯片采用扁平膜來測量壓力。SMI傳感器芯片采用三維膜片結(jié)構(gòu),用硅刻蝕工藝將產(chǎn)生的應(yīng)力(壓力)集中在傳感電阻處。這樣在保持總體和線性度的同時仍有很高的靈敏度。80%的應(yīng)力傳遞到膜片中的梁式區(qū)域,而膜片丟失的應(yīng)力只有20%。
除了壓阻器所處的四周外，膜片的所有部分都減薄，從而得到膜片的浮凸結(jié)構(gòu)。由于傳感器看起來象機械力放大器，因而便于把膜片運動的應(yīng)力集中在壓阻器上，增加的應(yīng)力極大地提高了信號輸出，膜片上的浮凸用做終止層。四周的薄膜有效地將器件密封起來。因此壓力不會前后移動。此外，在器件的結(jié)構(gòu)內(nèi)，離子注入電阻形成壓阻式惠斯登電橋，凹坑減少了器件的總震動質(zhì)量。 產(chǎn)品技術(shù)原理 壓阻式：壓阻式傳感器是采用集成電路制造技術(shù)在半導(dǎo)體基片上直接生成擴散電阻并組成電橋，半導(dǎo)體材料通常為硅材料，所以壓阻式傳感器又常稱為擴散硅壓力傳感器。由于采用了集成電路生產(chǎn)技術(shù)，這類傳感器非常適合大批量生產(chǎn)，成本也很低，壓阻式傳感器面臨的主要問題是受溫度影響較大。------SMI54系列微壓傳感器 Silicon Microstructures, Inc. (SMI) 生產(chǎn)各種微結(jié)構(gòu)壓力傳感器，產(chǎn)品廣泛用于汽車制造、醫(yī)療設(shè)備和工業(yè)生產(chǎn)。SMI不僅設(shè)計、生產(chǎn)各類微壓傳感器，并且提供集成化傳感器和基于 MEMS 的傳感器系統(tǒng)代工服務(wù)。

作為高性能硅壓力傳感器和加速計的生產(chǎn)廠家，SMI 成立于1991年。起初公司生產(chǎn)硅低壓傳感器，如今 SMI 已擁有眾多系列的硅微結(jié)構(gòu)傳感器，為各類 OEM 客戶提供質(zhì)優(yōu)價廉的產(chǎn)品。

2001年4月該公司被專門生產(chǎn)汽車用 ASIC 的 Elmos 半導(dǎo)體公司收購。通過集成 Elmos 的 ASIC 技術(shù)和 SMI 的6 英寸晶圓生產(chǎn)工藝，推出高性能、系統(tǒng)化、低價位的新一代完整片上系統(tǒng)微結(jié)構(gòu)傳感器。2002年8月 SMI 收購了 IC Sensors 的晶圓部，03年 SMI 設(shè)計出新型6英寸晶圓生產(chǎn)設(shè)備，該設(shè)備擁有先進的深度離子刻蝕 (DRIE) 和等離子焊接能力。

氣壓系列-SM5852-003 to SM5852-030

SM5852-003 to SM5852-030 

氣壓系列-SM5812-001

SM5812-001 

氣壓系列-SM5812

SM5812 

氣壓系列-SM5652

低壓（0-0.15 至0-100PSI） 恒壓、恒流供電方式可選 D I P 封 裝 0-60℃溫度補償 表壓、壓差、絕壓、測量 

氣壓系列-SM5651

低壓（0-0.15 至0-100PSI） 恒壓、恒流供電方式可選 D I P 封 裝 0-60℃溫度補償 表壓、壓差、絕壓、測量 

氣壓系列-SM5612

低壓（0-0.15 至0-100PSI） 恒壓、恒流供電方式可選 D I P 封 裝 0-60℃溫度補償 表壓、壓差、絕壓、測量 

氣壓系列-SM5611

低壓（0-0.15 至0-100PSI） 恒壓、恒流供電方式可選 D I P 封 裝 0-60℃溫度補償 表壓、壓差、絕壓、測量 

氣壓系列-SM5552

低壓（0-0.15PSI 至0-30PSI） 全溫度補償 表壓及差壓測量 恒壓供電及恒流供電可選 

氣壓系列-SM5551

低壓（0-0.15PSI 至0-30PSI） 全溫度補償 表壓及差壓測量 恒壓供電及恒流供電可選 

氣壓系列-SM5502

0-5PSI 至0-100PSI 量程范圍 全溫度補償 電壓電源或電流電源可選 

氣壓系列-SM5501

0-5PSI 至0-100PSI 量程范圍 全溫度補償 電壓電源或電流電源可選 

氣壓系列-SM5410

低壓（0-0.15PSI~0-100PSI） 宜于使用 結(jié)構(gòu)緊湊 低成本、高性能 

   氣壓系列-SM5450

低壓（0-0.15PSI~0-100PSI） 宜于使用 結(jié)構(gòu)緊湊 低成本、高性能  

氣壓系列-SM5350

低壓（0-0.15PSI~0-100PSI） 宜于使用 結(jié)構(gòu)緊湊 低成本、高性能 

氣壓系列-SM5310

低壓（0-0.15PSI~0-100PSI） 宜于使用 結(jié)構(gòu)緊湊 低成本、高性能 

氣壓系列-SM5106(芯片）

SM5106(芯片） 

氣壓系列-SM5103（芯片）

SM5103（ 芯片） 

氣壓系列-SM5102（芯片）

SM5102（芯片）