| 一、用途及特點(diǎn) 107JII 改型數(shù)顯測(cè)量工具顯微鏡采用透、反射的方式對(duì)工件作二維長(zhǎng)度和角度的精密測(cè)量。適用于幾何形狀復(fù)雜的細(xì)小件、錄象磁頭、大規(guī)模集成電路掩模圖形以及其它的精密件的測(cè)定。 | |
算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測(cè)量。該儀器兼有目視測(cè)量和日本三豐光柵數(shù)顯讀數(shù)裝置測(cè)量 , 是一種實(shí)用、多功能、高的小型精密
測(cè)量?jī)x器。廣泛適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。
二、規(guī)格
| 1、測(cè)量范圍 : | 2、讀數(shù)分格值 : |
| X- 軸移動(dòng)測(cè)量范圍 50 毫米 | 測(cè)微鼓 0.005 毫米； |
| Y- 軸移動(dòng)測(cè)量范圍 50 毫米 | 光柵數(shù)顯 0.001 毫米（選購件） |
| 園工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)范圍 0 — 3600 | 園工作臺(tái)刻度盤游標(biāo)讀數(shù)示值5 ′ |
| 3、測(cè)量 : | 4、鏡筒調(diào)節(jié)范圍 : |
| 測(cè)微鼓 5 微米； | 測(cè)量臺(tái)面與物鏡之間距離 80 毫米 |
| 光柵數(shù)顯 50 毫米 內(nèi)5微米(μm)； | 粗動(dòng)調(diào)節(jié)范圍：0-80毫米 |
| 任意 25 毫米 內(nèi) 3 微米（μm ） | 微動(dòng)調(diào)節(jié)范圍：0-1.5毫米 |
①投影系統(tǒng)
物 鏡 | 投 影 物 鏡 | 投影 | 工作 | 視場(chǎng) | 投影 | ||
放大倍數(shù) | 焦距 | 放大倍數(shù) | 焦距 | ||||
2.5x/0.07 | 36.34 | 10x | 32.42 | 25x | 15.7 | 5.6 | Φ 140 |
| 4x/0.1 | 28.8 | 40x | 13 | 3.2 | |||
10x/0.25 | 15.4 | 100x | 11.6 | 1.4 |
物 鏡 | 目 鏡 | 顯微鏡總 放大倍數(shù) | 工作 | 視場(chǎng) | 40倍 物鏡 | ||
放大倍數(shù) | 焦距 | 放大倍數(shù) | 焦距 | ||||
2.5x/0.07 | 36.34 | 10x | 25.00 | 25x | 15.7 | 7.2 | 選購件 |
4x/0.1 | 28.8 | 40x | 13 | 3.2 | |||
10x/0.25 | 15.4 | 100x | 11.6 | 1.8 |
①照明 : 12V/20W
②垂直照明 : 12V/10W
③電源 : AC220 &plun; 22V 50/60Hz
三、儀器成套性 ( 標(biāo)配 )
1、主機(jī) /1 套
2、10 倍目鏡 ( 含 ” 米 ” 字線 )/1 只
3、2.5 倍、 4 倍、 10 倍平場(chǎng)消色差物鏡 / 各 1 只
4、日本三豐光柵數(shù)顯手輪 /2 只
5、玻璃工作臺(tái)板 /1 塊
6、彈性工作夾 /4 組
7、 電源線 /1 根
四、選購件：
1、 光電轉(zhuǎn)換（ CCD ）裝置
2、40 倍物鏡 /1 只
3、垂直照明 /1 套
4、圖像捕捉卡
5、Z 方向測(cè)高裝置
6、配套 CAD 測(cè)量軟件
