l 的臺(tái)階再現(xiàn)性與線性度。
l 真直度,可量測(cè)圖形不受任何影響,并可在真直度的下進(jìn)行長距離測(cè)量。
l 采用噪音直動(dòng)式LVDT,測(cè)定力的觸針可任意調(diào)節(jié)。
l 配備高分辨率的CCD即時(shí)進(jìn)行高定位測(cè)量。
l 可對(duì)應(yīng)各種國際規(guī)范,測(cè)定參數(shù)多達(dá)60多種。
l 適用于各種與納米材料有關(guān)的MEMS、光電子、精加工表面、生物器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。