非接觸3維光學(xué)量測(cè)儀
龍門自動(dòng)型
Model:SMS
龍門自動(dòng)型
1.適用於:MEMS,半導(dǎo)體, LCD,LED,Micro lens
生物晶片等微結(jié)構(gòu)表面形狀參數(shù)研究
2.量測(cè)項(xiàng)目: 2D/3D表面輪廓,粗糙度,膜厚,
平面度,磨耗體積等微結(jié)構(gòu)表面參數(shù)量測(cè)
3.全自動(dòng)量測(cè),並有 stitching功能,擴(kuò)大量測(cè)面積的
耦合圖形觀察
4.垂直量測(cè):≦0.1nm, 量測(cè)範(fàn)圍: 數(shù)nm到10mm
5.可以搭配 x5,x10,x20,x50,x100物鏡使用