DIENER 等離子清洗機
FemtoPCCE 觸摸屏
適用制程研發(fā), 清潔, 活化, 蝕刻
外型尺寸:W 562 mm, H 211 mm, D 420 mm
反應(yīng)室尺寸: ? 100 mm, L 280 mm
氣體供應(yīng): 流量控制型 ; 雙氣體通道
射頻發(fā)生器: 40kHz/100 W, 可調(diào)變輸出功率
真空泵: Leybold, Te S1.5 (1.5m3/h)
控制方式: 電腦控制
和諧電子香港有限公司
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適用制程研發(fā), 清潔, 活化, 蝕刻
外型尺寸:W 562 mm, H 211 mm, D 420 mm
反應(yīng)室尺寸: ? 100 mm, L 280 mm
氣體供應(yīng): 流量控制型 ; 雙氣體通道
射頻發(fā)生器: 40kHz/100 W, 可調(diào)變輸出功率
真空泵: Leybold, Te S1.5 (1.5m3/h)
控制方式: 電腦控制
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