特點(diǎn)
• 高測(cè)針型CNC 表面測(cè)量?jī)x可以同時(shí)進(jìn)行表面粗糙度和形狀／輪廓的測(cè)量。
• X1 軸和Z2 軸的驅(qū)動(dòng)速度分別為40mm/s 和200mm/s，可以定位，從而了多重輪廓／多工件測(cè)量的效率。
• X1 軸和Z1 軸上裝有三豐激光全息光柵尺，從而可以實(shí)現(xiàn)高分辨率(X1 軸分辨率：6.25nm,Z1 軸分辨率：4nm/8nm) 的輪廓／形狀測(cè)量、表面粗糙度的測(cè)量和批次測(cè)量。
• Z1 軸檢測(cè)器采用主動(dòng)控制方式，減少Z1軸動(dòng)態(tài)測(cè)力變化的同時(shí)擴(kuò)展了測(cè)量范圍。
• Z1 軸檢測(cè)器集成了碰撞裝置，當(dāng)儀器主體與工件或夾具發(fā)生碰撞時(shí)，檢測(cè)裝置可以自動(dòng)停止工作。
• 帶有Y 軸工作臺(tái)的型號(hào)，可沿Y 軸進(jìn)行多工件定位，從而增加了多工件測(cè)量范圍。
• 提供易于操作的遙控箱，用戶可以通過(guò)這兩個(gè)操縱桿選擇合適的軸進(jìn)行移動(dòng)。在按鍵上標(biāo)有易于理解的圖形顯示軸的選擇狀態(tài)。
• 通過(guò)U 端口與數(shù)據(jù)處理／分析裝置(選件) 進(jìn)行信息交換。
技術(shù)參數(shù):
X1 軸
測(cè)量范圍: 100mm
分辨率: 0.00625μm
檢測(cè)方法: 激光全息光柵尺
驅(qū)動(dòng)速度: 40mm/s (CNC 模式)
0 - 40mm/s (操縱桿控制模式)
測(cè)量速度: 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)
0.02 - 2mm/s (形狀／輪廓)
移動(dòng)方向: 向前／向后
直線度: (0.05+0.0003L)μm
指示 (20° C): &plun;(0.16+0.001L)μm
L 為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm)
Z1 軸
測(cè)量范圍: 12mm
分辨率: 0.001μm
測(cè)針上／下運(yùn)作: 弧形運(yùn)動(dòng)
檢測(cè)方法: 激光全息光柵尺
指示 (20° C): &plun;(0.07+I0.02HI)μm
H 為測(cè)量高度(mm)
測(cè)力: 4mN
跟蹤角度: 向上60° 、 向下60°
(取決于表面粗糙度)
測(cè)針針尖: 半徑: 5μm, 角度： 40°、鉆石
(球型測(cè)針) (半徑: 0.25mm, 藍(lán)寶石)
測(cè)針?lè)较? 向下
Z2 軸(立柱)
測(cè)量范圍: 300mm
分辨率: 0.05μm
檢測(cè)方法: 反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 200mm/s (CNC 模式)
0 - 50mm/s (操縱桿控制模式)
基座尺寸(W x D): 600 x 550mm
基座材料: 花崗巖
尺寸 (W x D x H): 600 x 570 x 992mm
重量: 190kg
