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能力 | 數(shù)值 | |
X, Y方向運(yùn)動距離, | +/-6mm; | |
Z方向 | +/-0.5微米 | |
Theta; | +/-3°;0.001° | |
光罩旋轉(zhuǎn) | +/-15° | |
控制方式 | 軟件控制,多種工藝參數(shù)可自行設(shè)定 | |
卡盤移動控制 | 電子桿 | |
光刻模式 | 靠近、軟接、硬接和真空接觸 | |
預(yù)對準(zhǔn)能力 | X,Y方向+/-25微米;Theta 0.5° | |
精對準(zhǔn)能力 | 小于1微米 | |
光罩尺寸 | 14”×14” | |
適用的樣品尺寸 | 50 ~ 300mm | |
光源選擇 | 近紫外,中紫外和深紫外 |