F6000系列

產(chǎn)品描述

煒盛 的F6000系列MEMS皮拉尼真空傳感器提供了

一個性的真空測量方案。該傳感器外形微小，同

時又具有功耗，長壽命，低現(xiàn)場維護，和

的優(yōu)點。

依據(jù)“氣體熱導系數(shù)與低真空范圍壓力成正比”的原

理，煒盛真空傳感器測量加熱元件上由于傳熱到周圍的

氣體而導致的細微的電阻變化。

 皮拉尼真空傳感器

該加熱元件（即測量電阻）是由一個置于一張隔熱膜

上的鉑薄膜電阻構成。隔熱膜懸覆在一個微加工的

25祄深空腔上，空腔底部表面與隔熱膜平行，以

精密測量傳熱率。由于被測氣體體積?。纯涨蝗?/span>

積?。?，煒盛傳感器能夠提供的功耗和快速的

響應時間。

煒盛真空傳感器還提供了

一個與測量電阻具有相

同電阻溫度系數(shù)（TCR）

的基準電阻，布置在傳

感器芯片基板上。傳感

器電路可用它來進行環(huán)

境溫度補償。

由于具有性高，成本低，使用簡便和功耗的

逐項優(yōu)點，采用MEMS工藝加工的，微型化的皮拉尼技

*術正在成為一個行業(yè)標準。煒盛 的F6000系列

MEMS皮拉尼真空傳感器可以幫助客戶充分利用這一趨

勢，以其現(xiàn)有的產(chǎn)品和開發(fā)新的產(chǎn)品。 

實際應用

 ·分析儀器

 ·使用前級真空的封閉系統(tǒng)的檢漏

 ·半導體設備

 ·真裝機

 ·便攜式數(shù)字真空計

 ·小型機械系統(tǒng)（如泵）以規(guī)定的真空度

 ·真空開關來驗證1托以下的真空度

指標

 ·工作溫度：-40C至125C（可提供更高溫度型號）

 ·濕度：0到100％RH，非冷凝

 ·耐沖擊性：1000g

 ·壓：27.5Bar 

輸出電壓與真空的關系

加熱電流=6毫安  溫度= 25℃  測量電阻=156歐姆

電話：/

網(wǎng)址：www.winsensor.com