ウェーハプロービングマシンとは、ウェーハ上に形成された全てのチップの電気的特性を試験する裝置です。このウェーハテストにより、チップの良品、不良品の選別を行います。

ウェーハプロービングマシン：UF3000EX

世界サプライヤーが提供する次世代プロービングマシンです。

新アルゴリズムによるウェーハハンドリングとブローバ用に新開発した専用駆動(dòng)ユニットによる?高靜粛XYステージの相乗効果により驚異的なスループットを?qū)g現(xiàn)。更に、Z軸は世界水準(zhǔn)の耐荷重と高を確保し、ポジションによる平面度変化を徹底的に排除するトポロジー適化構(gòu)造設(shè)計(jì)によりのコンタクトを提供します。

UF3000EXでは、OTS新位置決め技術(shù)を更に進(jìn)化させ、ウェーハアライトメント畫像のカラー処理化や倍率機(jī)能の搭載により、や操作性も飛躍的に向上しています。

ウェーハプロービングマシン：UF3000

獨(dú)創(chuàng)的なOTS、QPU、TTG など先端の技術(shù)を融合した性能システムにて、次世代デバイスの微細(xì)化、多用なテスト環(huán)境に対し、お客様のニーズに合ったテストシステムをご提供いたします。

特長(zhǎng) 1OTS新位置決め技術(shù)（Optical Target Scope）

OTSにより、カメラ間の相対位置を絶対的で測(cè)定することが可能となり、飛躍的にが向上いたしました。
OTSはACCRETECH　Metrology技術(shù)を元に、アライメント光學(xué)系の自己相関を可能にしました。

特長(zhǎng) 2QPU剛性チャック（Quad-Pod Unit）

高い位置決めを効率良く再現(xiàn)するには、各部の剛性がに大きな役割を擔(dān)います。
UF3000ではZ軸に新技術(shù)の4軸駆動(dòng)機(jī)構(gòu)（QPU）を採(cǎi)用することで高剛性かつ安定したプローブコンタクトを?qū)g現(xiàn)しています。

特長(zhǎng) 3ロードポート

8inch、12inchカセットの両用プラットホーム化および、インスペクショントレイの前面配置により、ユーザニーズに即したテスト環(huán)境を提供いたします。
AMHS(Automated　Material Handling System)にも対応。

特長(zhǎng) 4TTG (Touch To Go)

UF3000は使い易さを追求し、タッチパネルに表示されるマップや畫像に觸れた場(chǎng)所に移動(dòng)できる機(jī)能を採(cǎi)用し、セットアップを容易にし、さらにユーザー定義による畫面構(gòu)成を可能としています。

ウェーハプロービングマシン：UF2000

世界ウェーハプロービングマシンメーカーとして、常に半導(dǎo)體業(yè)界をリードしてきたアクレーテクの東京精密。LCDドライバー等に代表されるパッドピッチが狹くなるデバイスを?qū)澫螭趣筏扛撙?00mmウェーハプローバ「UF2000」は、過(guò)去の機(jī)能性?操作性を継承しつつ全ての面で性能を向上させた新鋭機(jī)です。

特長(zhǎng) 1

総合&plun;1.5μmを?qū)g現(xiàn)。

特長(zhǎng) 2

新規(guī)プロセッサの採(cǎi)用、新規(guī)設(shè)計(jì)ローダ、畫像処理システムの性能向上により大幅にスループットを向上。

ウェーハプロービングマシン：UF200A

高、高剛性に加え、高い適応力を持ったプラットフォームをベースに、UFシリーズは進(jìn)化を続けます。
微細(xì)化技術(shù)?アセンブリ技術(shù)の進(jìn)化に伴い変化するウェーハ。
極薄ウェーハの処理や、ウェーハレベル?バーンインシステムのハンドラーとしても適応可能です。

特長(zhǎng) 1

8インチ汎用マシン。

ウェーハプロービングマシン：UF190B

高、高剛性に加え、高い適応力を持ったプラットフォームをベースに、UFシリーズは進(jìn)化を続けます。
微細(xì)化技術(shù)?アセンブリ技術(shù)の進(jìn)化に伴い変化するウェーハ。
極薄ウェーハの処理や、ウェーハレベル?バーンインシステムのハンドラーとしても適応可能です。

特長(zhǎng) 1

高機(jī)能、ハイスループット、ハイコストパフォーマンスマシン。

特長(zhǎng) 2

定評(píng)の自動(dòng)針合わせ機(jī)能やカラー液晶タッチパネルをはじめとする、UF200の高機(jī)能?優(yōu)れた操作性をそのままお使えいただけます。

ウェーハプロービングマシン：FP200A

高、高剛性に加え、高い適応力を持ったプラットフォームをベースに、UFシリーズは進(jìn)化を続けます。
微細(xì)化技術(shù)?アセンブリ技術(shù)の進(jìn)化に伴い変化するウェーハ。
極薄ウェーハの処理や、ウェーハレベル?バーンインシステムのハンドラーとしても適応可能です。

特長(zhǎng) 1

薄型ウェーハに対応したフレーム搬送。

ウェーハプロービングマシンネットワーク：VEGANET

ウェーハプロービングマシンの稼動(dòng)狀況を一元管理し、稼働率を一段とアップ。

システムモニター

稼動(dòng)率管理

プロ-バステータス管理

データ解析

ウェーハプロービングマシンネットワーク：LIGHTVEGA

ユーザーホストによるリソースの一元管理できます。

ウェーハプロービングマシンネットワーク：GEM Network System

ウェーハプロービングマシンネットワーク：VEGA PLANET

テストエリアの効率向上に貢獻(xiàn)する専用端末群です。

特長(zhǎng) 1

品種データ作成端末。

特長(zhǎng) 2

リモート操作端末。

特長(zhǎng) 3

ロギングデータ解析端末。

特長(zhǎng) 4

マップビューア。