詳細(xì)介紹 | |
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重復(fù):
- 量測(cè)速度:60Profiles/s
- 高度量測(cè)范圍:5-500um
- 分辨率:0.5um
- 重復(fù)誤差:高度小于1.2um,體積小于1%(基于3西格瑪方法)
- XY軸移動(dòng)范圍:300mm*300mm(auto)
- XY 軸: 0.25um
機(jī)器配置:
標(biāo)準(zhǔn)UP3500系統(tǒng),包括以下部分:
激光測(cè)量系統(tǒng):
- 激光發(fā)生系統(tǒng)
- 光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)
- 電腦控制系統(tǒng)
- 系統(tǒng)安裝備份軟盤
- 標(biāo)準(zhǔn)高度及校驗(yàn)證書(當(dāng)?shù)刂谱?以合當(dāng)準(zhǔn))