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北京愛諾儀表科技有限公司

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品牌/商標：yokogawa
企業(yè)類型：制造商
新舊程度：全新
原產(chǎn)地：重慶

先進的工作原理

圖1　硅諧振梁的結(jié)構(gòu)

采用微電子加工技術(shù)（MEMS)在一個單晶硅芯片表面的中心和邊緣制作兩個形狀、尺寸、材質(zhì)完全一致的Ｈ形狀的諧振梁，諧振梁在自激振蕩回路中作高頻振蕩（如圖1）。單晶硅片的上下表面受到的壓力不等時，將產(chǎn)生形變，導(dǎo)致中心諧振梁因壓縮力而頻率減小，邊緣諧振因受拉伸力而頻率增加（如圖２）。
兩頻率之差信號直接送到CPU進行數(shù)據(jù)處理，然后（１）經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換成4-20mA輸出信號，通訊時疊加Brain或Hart數(shù)字信號；（２）直接輸出符合現(xiàn)場總線（Fieldbus Foundation TM）標準的數(shù)字信號。

圖２　諧振式傳感器頻率輸出

優(yōu)異的性能

靜壓影響忽略不計
當(dāng)加有靜壓（工作壓力）時，兩形狀、尺寸、材質(zhì)完全一致的諧振梁形變相同，故頻率變化也一致，故偏差自動清除（公式和圖類似溫度影響）。
單向過壓特性優(yōu)異
接液膜片與膜盒本體采用的波紋加工技術(shù)，使外部壓力增大到某一數(shù)值時，接液膜片能與本體完全接觸，硅油傳遞給傳感器的壓力不再隨外力的增加而增加，從而達到對傳感器的保護作用。（圖4）、（圖5）所示為ＥＪＡ過壓特性。

圖5　對于過壓的長期穩(wěn)定性

圖6　長期穩(wěn)定性

安裝靈活使用方便