寬量程范圍,同一型號(hào)內(nèi)流量控制范圍0.1sccm ~ 200slpm;
緊湊型設(shè)計(jì),106mm VCR面間距(SEC-300);
:±1.0% F.S. (SEC-405: ±0.5% F.S.)
線性度:± 0.5% F.S.
重復(fù)性:± 0.2% F.S.
流量控制范圍:2 ~ 100% F.S (5 ~ 100% F.S.)
響應(yīng)速度:< 6秒
氣體接觸部件材料:SUS 316不銹鋼,Viton(氟化橡膠-密封)
滿量程流量
SEC310/320: 5SCCM ~ 500SCCM
SEC405/410: 10SCCM ~ 5SLPM
SEC510/520: 10 / 20 SLPM
SEC510A/520A: 30 / 50 SLPM
SEC551/552: 30 / 50 / 100 SLPM
SEC610/620: 50 / 100 / 150 SLPM
SEC623: 150 / 200 SLPM