UV紫外臭氧清洗過程提供一種簡單,經(jīng)濟,快速獲得潔凈的表面,去除大多數(shù)無機基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁*等)上的污染物。是當基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時,紫外清洗理想。獲得潔凈的表面,要在傳統(tǒng)清洗后,再用紫外臭氧清洗過程幾分鐘就可以啦。
紫外臭氧清洗可以去除:
皮膚油脂,硅油和油脂,助焊劑,殘留的光刻膠,膠水溶劑,碳等。
怎樣說是“”潔凈?
接觸角測量方法4-5度。適用A和CA測量細微的峰值。使用蒸汽測試,在冷凝和蒸發(fā)時形成一致的彩虹裝的條紋。通常情況下,使用清洗或是聲清洗工序后,清潔關(guān)鍵表面認為完成。紫外臭氧清洗提供一種新的清洗尺度。在傳統(tǒng)清洗工序后加入紫外清洗的應(yīng)用,產(chǎn)品的性能和性的不斷的證明這種新的清洗尺度的價值。
紫外臭氧清洗工作原理:
UVOCS清洗設(shè)備的是低壓石英汞燈,產(chǎn)生254和185nm范圍的紫外線。臭氧和等離子氧氣產(chǎn)生,污染物分子在吸收254nm波長紫外線后被激發(fā)或分解。激發(fā)的污染物可以和等離子氧原子反應(yīng)形成氣體,比如CO2,H2O等。整個過程在室溫**發(fā)生,并且要1到幾分鐘完成。
*注1:白色氧化鋁暴露在UV能量下會變黃。這種現(xiàn)象是由于基材吸收UV能量, 而不是一種涂層。這種氧化鋁在加熱情況下會轉(zhuǎn)化為他原來的顏色。
**注2:清洗元件溫度的上升取決清洗過程的時間長度。在大多數(shù)應(yīng)用,元件溫度可以視為室溫。
主要型號:
深圳慧爍機電的novascan紫外臭氧清洗機系列:本產(chǎn)品分為四種系列,1低樣品臺型,2基礎(chǔ)性升降工作臺型,3數(shù)字控制時間型,4加熱型。不同型號對應(yīng)不同功能。詳情可咨詢慧爍機電北京辦事處。
分別的功能特性有1:工作臺高度可調(diào),以適應(yīng)不同高度的樣品。2:帶加熱功能,能為的激發(fā)分子,強光清洗效果。3:能夠自由數(shù)字設(shè)定清洗時間。4:意外護功能,如果不小心打開門板,能自動關(guān)閉燈光,保護實驗人員不受紫外線輻射。
慧爍翻蓋式紫外清洗機,可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。慧爍紫外臭氧清洗機配備一個帶反射罩的度UV格柵狀燈管。4英寸或者更大尺寸的慧爍清洗機具有進出氣接口。該系統(tǒng)的曝光時間控制是由一個便捷的預(yù)設(shè)置時間控制器控制,容易操作。
功能特性:
*紫外線護,開門自動關(guān)閉紫外線燈管意外輻射。
*工作臺高度升降可調(diào),以適應(yīng)不同類型,規(guī)格,高度的樣品。
*可選加熱功能
*可選檔位時間控制或者數(shù)字時間控制
*方便的簡單按鍵操作
*固定時間檔:15.30.60.120分鐘,或數(shù)字控制時間
*工作進程可以在任何時候手工終止
*容易安裝和使用
一般特性:
翻蓋式 :翻蓋式設(shè)計,方便取放樣品。
設(shè)備材料:鋁合金托板,重量輕。設(shè)備總體積小。
燈 管 :盤狀密集型燈管,清洗效果的。燈管壽命大于5000h。
電 源 :標準220V交流電壓。380V電壓束縛。
樣品高度:樣品臺與燈管之間的高度可調(diào),可以適應(yīng)不同類型,規(guī)格,高度的樣品。
樣品放置:打開紫外臭氧清洗機清洗腔上蓋,露出樣品臺,允許360度裝入樣品。
進出氣口:標準配置2個氣接口,可自定義實驗條件,可額外通氧氣。
加熱可選:托盤帶加熱功能,可加熱至150攝氏度。
臭氧中和器:可選的臭氧中和器是清洗之后中和臭氧的便捷配置,無需其他抽風條件。
裝置:當清洗腔打開時,系統(tǒng)鎖會關(guān)掉UV燈,紫外線意外輻射。
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慧爍機電北京辦事處 吳先生
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