DIENER 等離子清洗機(jī)
Femto PCCE 創(chuàng)新觸摸屏
適用制程研發(fā), 清潔, 活化, 蝕刻
外型尺寸:W 562 mm, H 211 mm, D 420 mm
反應(yīng)室尺寸: ? 100 mm, L 280 mm
氣體供應(yīng): 流量控制型 ; 雙氣體通道
射頻發(fā)生器: 40kHz/100 W, 可調(diào)變輸出功率
真空泵: Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
控制方式: 電腦控制
蘇州和諧電子技術(shù)有限公司