FPD/LSI檢查顯微鏡
ECLIPSE L300N 反射專用型
ECLIPSE L300ND 透反射兩用型
集尼康光學(xué)技術(shù)于一身的CFI60光學(xué)系統(tǒng),在亮度、對(duì)比度和可操作性能方面都達(dá)到新的高度,適合于大直徑硅片或大型液晶板的檢查。
觀察樣品:ECLIPSE L300D 300 mm硅片; ECLIPSE L300ND 300 mm硅片。 觀察倍率15X~3000X(視目鏡和物鏡的組合而定); 使用CFI60光學(xué)系統(tǒng),徹底消除耀斑影響,對(duì)比度更高,成象更加清晰、明亮; 物鏡齊焦距為60mm,可以兼顧高數(shù)值孔徑和長(zhǎng)工作距離兩方面的要求; 主機(jī)剛性高,具有很好的抗振性能,具有防塵、防污染、防靜電功能; 光亮調(diào)節(jié)、孔徑調(diào)節(jié)、物鏡轉(zhuǎn)換等操作都集中在前面,使用方便,即使長(zhǎng)期操作也不易產(chǎn)生疲勞;
.jpg)
規(guī)格 | ||
|
ECLIPSE L300N |
ECLIPSE L300ND |
主機(jī) |
內(nèi)置12V-50W鹵素?zé)艄庠?;?nèi)置用于電動(dòng)控制器的電源 | |
物鏡轉(zhuǎn)換器:具備物鏡轉(zhuǎn)換器 | ||
— |
反射/透射切換器 | |
調(diào)焦部分 |
對(duì)焦部:行程29mm | |
反射照明部 |
12V50W高亮度鹵素?zé)粽彰餮b置 | |
透射照明部 |
— |
12W50W高亮度鹵素?zé)粽彰餮b置 |
接口 |
USBx1,RS232C(用于Intensilight)x1 | |
鏡筒 |
L2-TTA超大視場(chǎng)正立調(diào)傾式三目鏡筒(視角0~30°) | |
目鏡 |
CFI目鏡 | |
物鏡 |
CFI60系列物鏡 | |
載物臺(tái) |
14x12載物臺(tái)、行程354mmx302mm(透射觀察范圍:354mmx268mm) | |
防靜電功能 |
從1000到10V放電時(shí)間在0.2秒以內(nèi) | |
耗電 |
1.2A/90W | |
尺寸 |
約360(W)x581(H)x951(D)mm(傾斜角度為10°時(shí)) |