這是一臺(tái)新設(shè)計(jì)的聚焦離子束系統(tǒng)，具備高分辨率成像功能。它由電子束系統(tǒng)(SEM)和離子束系統(tǒng)(FIB)組成，可以進(jìn)行材料的刻蝕，沉積和TEM制樣。它可以進(jìn)行實(shí)時(shí)（在刻蝕或沉積時(shí)）觀察（SEM）以及其它分析。
| AURIGA 基本參數(shù) | ||
| 分辨率 | SEM | FIB |
| | GEMINI column 1.0 nm @ 15 kV 1.9 nm @ 1kV | Cobra column: 2.5 nm @ 30kV Canion column: 7nm@ 30kV |
| 放大倍數(shù) | 12x – 1000 kx | 300x – 500 kx |
| 束流 | 4pA – 20 nA (80nm 可選) | 1 pA – 50 nA |
| 加速電壓 | 0.1 － 30 kV | 1.0 – 30 kV |
| 發(fā)射器 | 熱場(chǎng)(Schottky) | Ga 離子源（LMIS） |
| 氣體注入器系統(tǒng) | a) 5個(gè)（Pt,C,W, 碘，絕緣體,氟化物等） b) 4個(gè)＋局部電荷中和器（可使用所有的標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器） c) 一個(gè) d) 在使用局部電荷中和器時(shí)，可使用所有的標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器 | |
| 樣品臺(tái) | 6 軸超優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái) 移動(dòng)范圍 X,Y ＝ 100 mm Z ＝ 55 mm Z” ＝ 10 mm 傾斜＝ -10 － 60度，旋轉(zhuǎn)＝360度 連續(xù) AWD(分析工作距離)＝5－8.5 mm | |
| 樣品交換室 | 80 mm / 100 mm 手動(dòng)樣品交換 | |
| 探測(cè)器 | 高效環(huán)形 In-lens 二次電子探測(cè)器 Everhart-Thornley二次電子探測(cè)器 鏡筒內(nèi)置式 EsB背散射電子探測(cè)器（帶0－1500V過(guò)濾網(wǎng)） 二次離子探測(cè)器（SESI） 固體背散射電子探測(cè)器 BF/DF STEM探測(cè)器 | |
| 樣品室 | 330 mm(直徑)，266 mm(高) 15個(gè)接口可安裝 STEM,4QBSD,EBSD,EDS,WDS,SIMS,GIS系統(tǒng)，局部電荷中和器等 2個(gè)觀察用CCD. | |
| 操作顯示系統(tǒng) | 基于Windows操作系統(tǒng)上的SmartSEM操作界面。 由鼠標(biāo)，鍵盤，操作桿控制或控制板（可選） | |
