5D/6D激光干涉儀是API的產品，安裝能夠同時測量線性軸的六個誤差，包括1個位置度誤差、2個直線度誤差、3個角度誤差。在通常情況下需要數天時間進行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成，實際應用結果表明，節(jié)省時間可達80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經過干涉后，被6D傳感器內的分光鏡分成三束，一束光經錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產生干涉條紋，經光學相位探測器識別后進行電子記數，記錄長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測量儀在結構的設計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低到小，從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性。測量儀配有自動氣壓、環(huán)境溫度補償器，自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響，測量儀還配有專門設計的多重數字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到小。
技術參數：
5D/6D標準型：
1. 線性：0.5ppm
2. 測量范圍：40米（1D可選80米）
3. 偏擺角和俯仰角的：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值
4. 范圍：800角秒
5. 滾動角：1.0角秒
6. 直線度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值
7. 范圍：500um
8. 垂直度：1角秒
9. 溫度：0.2攝氏度
10.濕度：5%
11.壓力：1mmHg
5D/6D精密型：
1. 線性：0.2ppm
2. 測量范圍：25米
3. 偏擺角和俯仰角的：（0.5+0.05/m）角秒或1%顯示較大值
4. 范圍：400角秒
5. 滾動角：0.5角秒
6. 直線度：（0.5+0.1/m）um或1%顯示較大值
7. 范圍：300um
8. 垂直度：0.5角秒
9. 溫度：0.1攝氏度
10.濕度：3%
11.壓力：0.3mmHg
5D/6D高精密型：
1. 線性：0.2ppm
2. 測量范圍：根據用戶要求而定
3. 偏擺角和俯仰角的：（0.2+0.02/m）角秒
4. 范圍：500角秒
5. 滾動角：0.5角秒
6. 直線度：（0.2+0.05/m）um
7. 范圍：100um
8. 垂直度：0.5角秒
9. 溫度：0.1攝氏度
10.濕度：3%
11.壓力：0.3mmHg
主要特點：
1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角
2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器長的控制距離可到25米
4. 可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態(tài)特性。
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間