『參數』：

重現性 < 0.002mm
臺面大小 700*650mm
解析力標準 0.001mm
機臺重量 750kg(包括機架)
平面 3.5+5L/1000μm
影像放大倍率 20x-120x 30x-225x
示值(X、Y） 3+5L/1000μm
光學放大倍率 0.65X-4.5X
工作行程(X/Y/Z) 600*500*200mm 1000*800*200mm
CCD 專用彩色1/3英寸高解析480TV線
外形尺寸(WxDxH) 1250*808*1680mm
可選配置 無死角旋轉燈
測量范圍(X*Y*Z) 600*500*100mm
工作行程 811*1250*1680mm
影像攝取系統(tǒng) sony芯片高解析彩色CCD
測量理論 晶元光罩坐標系統(tǒng)
鏡頭     SEVEN OCEAN OPTICAL 自動變焦鏡頭
控制系統(tǒng)     全自動閉環(huán)控制系統(tǒng)，日本松下PANASONIC伺服閉環(huán)控制系統(tǒng)
工作臺結構 00級花崗巖
儀器結構 00級花崗巖
電源 220V 50±5HZ 功率 1KV
溫度范圍 20±5℃ 1℃/h 2℃/24h 1℃/m
濕度 40%-70%
震動 < 30HZ
工作臺承重 3-5KG均布
『新技術：晶元光罩技術——多國發(fā)明』：
◇　純軟件工作平臺
◇　特殊光學技術無阿貝誤差
◇　非龍門式大型外架設計，動量降至，無剛性不足與運動遲滯之問題
◇　平面坐標測量
◇　不需要光柵尺、不需要編碼器

『測量軟件』：
※　CNC電動桌面（以軟件功能控制工作臺面，增加操作人員使用上及操作上的方便性）
※　有強大的環(huán)形、矩形陣列功能， 并能運行CNC自動測量。
※　CNC自動測量編程：可以自定義控制表面光（上燈光源）、穿透光（底光）、各種角度光（旋轉燈）、CCD對比度來做CNC自動測量，避免了以前用底光做CNC的局限性。
※　CNC自動測量編程：可以編程有高度差的測量，并且可以自定義客戶坐標進行編程與保存。
※　存檔照片輸入與實時影相中的實際工件進行對比功能
※　實時影像中可任意設置坐標原點(0,0)
※　輸出到AutoCAD圖形自動擺正功能
※　可輸入AutoCAD的標準工程圖進入實時影像中與實際工件對比功能
※　鳥瞰功能：可檢視當前繪圖位置
※　直接用鍵盤輸入圓及線段功能
※　直接畫線、圓、弧時，可以同時在AutoCAD及本測繪儀軟體中同時生成相應的圖形
※　強大的去毛刺功能，可以自動抓取線、圓、弧，減少人為測量造成的誤差。
※　智慧型取R角功能
※　測量系統(tǒng)：對 物體的長寬及 線、圓、弧、角度等進行測量與標注
※　繪圖系統(tǒng)：畫線、圓、弧及線段之垂直線、水平。
※　亦可修改圖形，并將圖形輸入到AutoCAD
※　圖形輸入到AutoCAD中，可將當前影像拍下以JPEG格式儲存
※　自動尋邊，自動捕捉
※　XY可移動平臺：可轉動X、Y軸向，前后左右移動桌面，避免用手移動工件，造成檢測誤差
※　輔助對焦：使畫面達到清晰度
※　自動對焦：電腦自動判斷影像的清晰面。