儀器簡介：
BOC Edwards EXT泵適用于除苛刻的半導(dǎo)體應(yīng)用和科學(xué)應(yīng)用（這些領(lǐng)域可使用STP系列泵）以外的任何領(lǐng)域。STP系列泵使用電磁軸承，EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統(tǒng)軸承相比具有更輕、更硬和更平穩(wěn)的優(yōu)點(diǎn)，以及壽命長、小振動的優(yōu)點(diǎn)。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。
技術(shù)參數(shù)：
見技術(shù)資料
主要特點(diǎn)：
BOC Edwards EXT系列渦輪分子泵可以通過TIC控制器或EXC控制器控制。 TIC控制器將渦輪控制和儀器控制合二為一，使用起來更加方便。OEM或有電源的終用戶可以使用EXC控制器在自己的系統(tǒng)中控制EXT渦輪，這可以降低成本。另外還具有如下優(yōu)點(diǎn)：無油（渦輪分子泵不產(chǎn)生碳?xì)浠衔镂廴荆?；低維護(hù)（無軸承接觸，無機(jī)械磨損）；低振動（比一般軸承的振動低一個數(shù)量級）；減少冷卻（對許多應(yīng)用來說自然冷卻即可）；定位任意（可以安裝在任意位置）。
BOC Edwards EXT泵適用于除苛刻的半導(dǎo)體應(yīng)用和科學(xué)應(yīng)用（這些領(lǐng)域可使用STP系列泵）以外的任何領(lǐng)域。STP系列泵使用電磁軸承，EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統(tǒng)軸承相比具有更輕、更硬和更平穩(wěn)的優(yōu)點(diǎn)，以及壽命長、小振動的優(yōu)點(diǎn)。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。
技術(shù)參數(shù)：
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主要特點(diǎn)：
BOC Edwards EXT系列渦輪分子泵可以通過TIC控制器或EXC控制器控制。 TIC控制器將渦輪控制和儀器控制合二為一，使用起來更加方便。OEM或有電源的終用戶可以使用EXC控制器在自己的系統(tǒng)中控制EXT渦輪，這可以降低成本。另外還具有如下優(yōu)點(diǎn)：無油（渦輪分子泵不產(chǎn)生碳?xì)浠衔镂廴荆?；低維護(hù)（無軸承接觸，無機(jī)械磨損）；低振動（比一般軸承的振動低一個數(shù)量級）；減少冷卻（對許多應(yīng)用來說自然冷卻即可）；定位任意（可以安裝在任意位置）。
