技術參數：
抽氣速率（l/s） 1800
壓縮比 N2：108；H2：5×103
極限壓強(Pa) ≤1×10-6
額定轉速（rpm） 27000
啟動時間（min） ＜8
軸承 陶瓷軸承
排氣口法蘭 KF40(DN40 ISO-KF)
進氣口法蘭 LF250(DN250 ISO-K)
振動值（(mm)） ≤0.1
建議前級泵（l/s） 15
冷卻水溫度（℃） ≤25
泵體烘烤溫度（℃） ≤100
環(huán)境溫度（℃） 5-40
充油量(ml) 脂潤滑
安裝方式 任意角度
重量（kg） 42
充氣口：KF10(DN10 ISO-KF)
放氣口Ф10
