儀器簡(jiǎn)介：
Asylum’s MFP Nanoindenter 納米壓痕儀是一款為市場(chǎng)所認(rèn)可的商業(yè)化納米級(jí)壓痕儀，是業(yè)內(nèi)款基于原子力顯微鏡的壓痕儀器。通過結(jié)合原子力顯微鏡的傳感器，為該款納米壓痕模塊提供了超過其他納米壓痕系統(tǒng)所無法企及的準(zhǔn)度、以及敏感度。
納米壓痕儀通過與原子力顯微鏡的結(jié)合，利用原子力顯微鏡卓越的形貌觀察能力同時(shí)對(duì)壓頭和壓痕結(jié)果的測(cè)試，可以提供的定量壓痕接觸區(qū)域計(jì)算能力，提供業(yè)內(nèi)準(zhǔn)確的確定接觸區(qū)域 ，獲得間接估算材料性質(zhì)所沒有的。特有的一維柔性鉸鏈的被動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式從而使得漂移和深度測(cè)試中的其他錯(cuò)誤得到小化。壓入過程中的熱漂移效應(yīng)全自動(dòng)扣除，測(cè)量結(jié)果更加真實(shí)、可靠。
高性能的樣品加載系統(tǒng)和傳感技術(shù)使得nanoindeter納米壓痕儀成為了多樣化的納米力學(xué)表征工具，是科學(xué)家、工程師和其他各領(lǐng)域用戶的選擇。在摩擦、模量成像、動(dòng)態(tài)力學(xué)分析、薄膜、陶瓷、復(fù)合物、聚合物、微機(jī)電系統(tǒng)、生物和金屬等領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。符合 ISO/IEC 17025.1以及ISO 14577-22國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。
行業(yè)應(yīng)用：材料、生物、化學(xué)、物理相關(guān)的政府檢測(cè)機(jī)構(gòu)、科研院所、高校和大型企業(yè)研究機(jī)構(gòu) 。每年銷售量超過50臺(tái)。
測(cè)量數(shù)據(jù)
模量
硬度
蠕變
應(yīng)力-應(yīng)變曲線
塑性指數(shù)
塑性功/彈性功
彈性模量/損耗模量/力學(xué)損耗(tan)
納米磨損性能
納米劃痕臨界載荷
表面磨擦及形貌圖
粘結(jié)失效
斷裂韌性
沖擊性能
接觸疲勞強(qiáng)度
金屬,陶瓷,聚合物等材料的彈性性能.
金屬的位錯(cuò)現(xiàn)象.
陶瓷的破裂現(xiàn)象.
薄膜，骨，生物材料的機(jī)械性能.
殘余應(yīng)力
軟金屬和聚合物的由時(shí)間決定的機(jī)械性能.
結(jié)合納米壓痕的IV曲線電學(xué)測(cè)試
結(jié)合納米壓痕的壓電力顯微鏡測(cè)試（詳見PFM應(yīng)用手冊(cè)）
力反饋 (應(yīng)力控制)以及壓痕深度(應(yīng)力控制)
力學(xué)實(shí)時(shí)分析
力學(xué) vs 位置
恒幅載荷
準(zhǔn)靜態(tài)實(shí)驗(yàn)法: 壓痕蠕變, 應(yīng)力松弛
動(dòng)態(tài)測(cè)試
納米壓痕柔性鉸鏈
兩種柔性鉸鏈可選：Standard and Low
| 標(biāo)準(zhǔn)型 | 微力型 | |
| 彈性常數(shù) (typ.) | 4,000N/m | 800N/m |
| 質(zhì)量 | 250mg | 200mg |
| 共振頻率 | 700Hz | 300Hz |
力學(xué)分辨
1kHz 帶寬下測(cè)試
| 標(biāo)準(zhǔn)型 | 微力型 | |
| 載荷 | 20mN | 4mN |
| 力學(xué)噪音水平 | 75nN | 15nN |
| 位置噪音水平 | 0.3nm | 0.3nm |
掃描范圍
Z 范圍: 15μm 標(biāo)準(zhǔn), 40μm (可選).
荷載率 (Vlr ): 1μN/s <Vlr<10mN/s..
樣品尺寸
小樣品臺(tái): 12.7mm SEM 兼容樣品臺(tái)
中樣品臺(tái): 2.0英寸樣品臺(tái).
大樣品臺(tái): 4.0英寸x 2.4英寸
樣品臺(tái)
微分尺驅(qū)動(dòng)的機(jī)械樣品臺(tái)（可選馬達(dá)驅(qū)動(dòng)）
掃描軸
X-Y: 90μm 全行程閉環(huán). 閉環(huán)傳感器噪音<0.6nm (Adev)（ 0.1Hz-1kHz bandwidth (BW)）
非線性度全行程小于<0.5% (Adev/full travel)
Z: >15μm 閉環(huán)控制 (40μm 可選).
傳感器噪音<0.3nm Adev （0.1Hz-1kHz BW ）
非線性度全行程<0.2% (Adev/full travel)
Z高度噪音 <0.06nm Adev,（ 0.1Hz-1kHz BW）.
軟件
IGOR Pro by WaveMetrics出品的IGOR Pro數(shù)據(jù)處理軟件,可以有客戶自由編輯。
系統(tǒng)包括了以下的Asylum’s ARC2™ 全數(shù)字控制器，用戶可以根據(jù)自己要求選擇底座(上視光路或者多光路底座), 可以選擇標(biāo)準(zhǔn)型或者微力型頭部, 兩個(gè)金剛石壓頭 (one cube corner and one Berkovich) 、一個(gè)球形壓頭以及練習(xí)用壓頭。一個(gè)彈性系數(shù)校準(zhǔn)器以及適應(yīng)不同大小的樣品臺(tái)。
