※ 標定板厚度可選1.6mm,2.3mm,3.0mm,4.8mm; ※ 1級指圖形尺寸與圖形位置為±1.0μm,2級指圖形尺寸與圖形位置±2.0μm,3級指圖形尺寸與圖形位置為±3.0μm; ※ 產(chǎn)品刻畫圖案可在標準產(chǎn)品基礎(chǔ)上定制。
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※ 標定板厚度可選1.6mm,2.3mm,3.0mm,4.8mm; ※ 1級指圖形尺寸與圖形位置為±1.0μm,2級指圖形尺寸與圖形位置±2.0μm,3級指圖形尺寸與圖形位置為±3.0μm; ※ 產(chǎn)品刻畫圖案可在標準產(chǎn)品基礎(chǔ)上定制。