儀器由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計算機(jī)等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
RTS-8型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運(yùn)行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
技 術(shù) 指 標(biāo) :
測量范圍:
電阻率:10-4~105 Ω.cm(可擴(kuò)展);
方塊電阻:10-3~106 Ω/□(可擴(kuò)展);
電導(dǎo)率:10-5~104 s/cm;
電阻:10-4~105 Ω;
可測晶片直徑
140mmX
200mmX
400mmX
恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表
量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
輸入阻:>1000MΩ;
:±0.1% ;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性、量程自動顯示;
四探針探頭基本指標(biāo)針
間緣電阻:≥1000MΩ;
機(jī)械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或鋼Ф
探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機(jī)測量相對誤差(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5%
計算機(jī)通訊接口并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度:23±
相對濕度:≤65%;
無高頻干擾;
無強(qiáng)光直射;
安合盟(天津)科技發(fā)展有限公司供應(yīng)四探針測試儀系列及其配套附件產(chǎn)品(粉末壓片機(jī)、壓片模具),質(zhì)量、價格優(yōu)惠、售后服務(wù)周到是值得廣大客戶信賴的供應(yīng)商。我公司長年與各大高校、研究所、研究院、藥廠等多部門企事業(yè)單位實(shí)驗(yàn)室建立合作關(guān)系,受到廣大新老客戶的一直好評。聯(lián)系電話: 郭經(jīng)理
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