OTSはACCRETECH Metrology技術(shù)を元に、アライメント光學(xué)系の自己相関を可能にしました。 特長(zhǎng) 2QPU超高剛性チャック(Quad-Pod Unit)高い位置決めを効率良く再現(xiàn)するには、各部の剛性が非常に大きな役割を擔(dān)います。
UF3000ではZ軸に新技術(shù)の4軸駆動(dòng)機(jī)構(gòu)(QPU)を採用することで高剛性かつ安定したプローブコンタクトを?qū)g現(xiàn)しています。 特長(zhǎng) 3ロードポート8inch、12inchカセットの両用プラットホーム化および、インスペクショントレイの前面配置により、ユーザニーズに即したテスト環(huán)境を提供いたします。
AMHS(Automated Material Handling System)にも対応。 特長(zhǎng) 4TTG (Touch To Go)UF3000は使い易さを追求し、タッチパネルに表示されるマップや畫像に觸れた場(chǎng)所に移動(dòng)できる機(jī)能を採用し、セットアップを容易にし、さらにユーザー定義による畫面構(gòu)成を可能としています。 ウェーハプロービングマシン:UF2000 世界ウェーハプロービングマシンメーカーとして、常に半導(dǎo)體業(yè)界をリードしてきたアクレーテクの東京精密。LCDドライバー等に代表されるパッドピッチが狹くなるデバイスを?qū)澫螭趣筏扛撙?00mmウェーハプローバ「UF2000」は、過去の機(jī)能性?操作性を継承しつつ全ての面で性能を向上させた新鋭機(jī)です。 特長(zhǎng) 1総合±1.5μmを?qū)g現(xiàn)。 特長(zhǎng) 2新規(guī)プロセッサの採用、新規(guī)設(shè)計(jì)ローダ、畫像処理システムの性能向上により大幅にスループットを向上。 ウェーハプロービングマシン:UF200A 高、高剛性に加え、高い適応力を持ったプラットフォームをベースに、UFシリーズは進(jìn)化を続けます。
微細(xì)化技術(shù)?アセンブリ技術(shù)の進(jìn)化に伴い変化するウェーハ。
極薄ウェーハの処理や、ウェーハレベル?バーンインシステムのハンドラーとしても適応可能です。 特長(zhǎng) 18インチ汎用マシン。 ウェーハプロービングマシン:UF190B 高、高剛性に加え、高い適応力を持ったプラットフォームをベースに、UFシリーズは進(jìn)化を続けます。
微細(xì)化技術(shù)?アセンブリ技術(shù)の進(jìn)化に伴い変化するウェーハ。
極薄ウェーハの処理や、ウェーハレベル?バーンインシステムのハンドラーとしても適応可能です。 特長(zhǎng) 1高機(jī)能、ハイスループット、ハイコストパフォーマンスマシン。 特長(zhǎng) 2定評(píng)の自動(dòng)針合わせ機(jī)能やカラー液晶タッチパネルをはじめとする、UF200の高機(jī)能?優(yōu)れた操作性をそのままお使えいただけます。 ウェーハプロービングマシン:FP200A 高、高剛性に加え、高い適応力を持ったプラットフォームをベースに、UFシリーズは進(jìn)化を続けます。
微細(xì)化技術(shù)?アセンブリ技術(shù)の進(jìn)化に伴い変化するウェーハ。
極薄ウェーハの処理や、ウェーハレベル?バーンインシステムのハンドラーとしても適応可能です。 特長(zhǎng) 1薄型ウェーハに対応したフレーム搬送。 ウェーハプロービングマシンネットワーク:VEGANET ウェーハプロービングマシンの稼動(dòng)狀況を一元管理し、稼働率を一段とアップ。
システムモニター
稼動(dòng)率管理
プロ-バステータス管理
データ解析 ウェーハプロービングマシンネットワーク:LIGHTVEGA ユーザーホストによるリソースの一元管理できます。