美國(guó)MKS INSTRUMENTS電源、測(cè)量、控制和復(fù)雜氣體相關(guān)的工藝監(jiān)控技術(shù)等改善了設(shè)備的完好率和產(chǎn)品成品率，提高了生產(chǎn)產(chǎn)量和產(chǎn)品性能，美國(guó)MKS INSTRUMENTS目前產(chǎn)品主要包括：壓力測(cè)量和控制系列的電容薄膜壓力傳感器、模擬和數(shù)字壓力控制儀器和閥等提供半導(dǎo)體工藝上、下游壓力控制設(shè)備；質(zhì)量流量控制器測(cè)量和控制半導(dǎo)體工藝中各種高純度、高氣體流量；射頻、直流及脈沖等離子電源、匹配器及測(cè)試工具為半導(dǎo)體工業(yè)提供了可靠的固態(tài)電源；STEXI系列產(chǎn)品提供諸如用于工藝腔清潔的ASTRON氟離子發(fā)生器，用于去膠工藝的R*EVOLUTION等離子源，用于CVD、ALD和清洗的SEMOZON氣態(tài)和LIQUOZON液態(tài)臭氧發(fā)生器；另外美國(guó)萬(wàn)機(jī)儀器MKS NSTRUMENTS還提供更廣泛的真空產(chǎn)品、氣體分析儀、靜電控制、控制及信息技術(shù)等系列解決方案。
    2006年，美國(guó)MKS INSTRUMENTS完成了對(duì)ION SYSTEMS、UMETRICS和NOVX的三樁收購(gòu)，大大擴(kuò)展了其制程控制產(chǎn)品系列和提升了其市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

相關(guān)系列與型號(hào)介紹：621,622A,623A,627B,629B,722A,722B,631C,628,690A,626A,626B,722A,722B,901,912,910,M10B,
AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,AX7685,AX7645……