BY-SK510各感應(yīng)器的測定原理
根據(jù)藥液比重浮力, 比重減小浮力減小的原理當(dāng)藥液中銅離子含量增加或減小時(shí), 藥液的浮力也會(huì)變大或減小, 浮力的變化使重量的浮球上升或下降, 浮球的升降會(huì)發(fā)生位置變化, 當(dāng)比重設(shè)定值時(shí) 感應(yīng)器將其位能變化量轉(zhuǎn)換為電訊號(hào)傳遞給控制器, 控制器根椐電訊號(hào)判斷藥液比重的大小, 進(jìn)行自來水添加來控制比重.
2.鹽酸感測器(HCL SENSOR): 電磁式(電能+動(dòng)能→電能)
根據(jù)電磁感應(yīng)原理: 當(dāng)電流通過感測器線圈時(shí), 會(huì)產(chǎn)生磁束(磁力線). 該磁束會(huì)依藥液中鹽酸的離子濃度而產(chǎn)生比例電流, 再將此電流變化量加以數(shù)值化, 并轉(zhuǎn)換為電訊號(hào)傳給控制器, 控制器根據(jù)電信號(hào)判斷藥液中鹽酸的離子濃度是否正常, 而進(jìn)行控制鹽酸添加.
另溫度感測器內(nèi)藏于鹽酸感測器之中, 用來檢知藥液溫度.
3.氧化劑感測器(NaCLO3 SENSOR): 電解式(電能→電能)
●H2O2(雙氧水)之概念及測定原理
雙氧水的氧化性很強(qiáng),在氯化亞銅氧化為氯化銅的過程中,能增加蝕刻的速度,就再生劑而言,其扮演著很重要的角色。雖然,空氣中的氧也會(huì)產(chǎn)生再生反應(yīng),但是,一旦生產(chǎn)量增加時(shí),氧的再生速度就來不及,所以為了蝕刻速度,作為氧化劑的雙氧水是的。雙氧水傳感器,是將雙氧水做為蝕刻液再生反應(yīng)的劑。在小需要量下,控制適當(dāng)?shù)奈g刻液濃度。因蝕刻速度的安定化和使用量的減少,可大幅品質(zhì)、降。目的:即是以「如何使用小需要量的雙氧水來管理藥液品質(zhì)」作為參考量。
基于這樣的參考量,本再生控制器并不是管理雙氧水,而是檢測出蝕刻藥液的蝕刻能力;一方面用少的雙氧水來補(bǔ)足蝕刻液中,由氧氣(O2)再生的不足部份,一方面維持蝕刻生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
(1) 根據(jù)鹽酸的再生方式(空氣再生)
●雙氧水傳感器的測定原理
鉑金點(diǎn)在蝕刻液中反應(yīng)時(shí),依據(jù)藥液的濃度和蝕刻能力(蝕刻速度)會(huì)產(chǎn)生荷量的變化。雙氧水傳感器會(huì)檢測出所發(fā)生的電荷量(出力),并傳送到“ALTEC”控制器?!癆LTEC”控制器再將雙氧水濃度和蝕刻速度等的相關(guān)資料入力;雙氧水傳感器所得到的出力在控制器上計(jì)算并顯示。其單位不是MOL/L(濃度)而是用MV來表示。
●一價(jià)銅離子和二價(jià)銅離子的含量對(duì)于測定值而言會(huì)有何變化?
當(dāng)基板的銅(Cu)溶解于蝕刻藥液(CuCl2)中,二價(jià)銅會(huì)轉(zhuǎn)變?yōu)橐粌r(jià)銅。(隨著銅的溶解,電位值既ORP值會(huì)下降)。一價(jià)銅和HCl會(huì)因空氣中的O2而產(chǎn)生再生反應(yīng)。但是,生產(chǎn)量大時(shí),空氣的O2來不及再生的部份,便需要H2O2做氧化劑。
當(dāng)一價(jià)銅一增加,ORP值就會(huì)下降,而蝕刻液中的一價(jià)銅再生為二價(jià)銅時(shí),ORP值就會(huì)上升.
4:使用範(fàn)圍
BY-SK510控制器使用與PCB酸性蝕刻,及三氯化鐵的五金蝕刻。