- 測量范圍：
- 100mm±10%×200mm±10%
鋁膜測試儀利用渦流原理制造: 即被測蒸鋁層靠近高頻激磁磁場時, 感應(yīng)產(chǎn)生渦電流, 因而產(chǎn)生渦流磁場, 此渦流磁場反作用于原來激磁磁場, 使傳感器阻抗發(fā)生變化, 然后通過檢測電路并進(jìn)行放大, 輸出與厚度相對應(yīng)模擬電壓。 為了減少漂移即減少重復(fù)性誤差和提高測量準(zhǔn)確度，本儀器應(yīng)用智能功能單片機(jī)系統(tǒng)，即對測厚過程中非線性和零漂進(jìn)行校正，因而提高了測量準(zhǔn)確度。 ≡ 技術(shù)參數(shù) ≡ 可測量范圍與量程: 被測薄膜尺寸 100mm±10%×200mm±10% 測量量程 厚度90～800Å （0.009～0.08µm） 方阻95～0.47Ω/□ 度： 測量準(zhǔn)確度 厚度 ±(20Å+2%讀數(shù)) 方阻 ±0.15Ω/□（在300～500Å范圍） 讀數(shù)重現(xiàn)性 10Å (同一測量點(diǎn))
