型號(hào)(Model) | PowerMetro L1200 | PowerMetro L1500 | PowerMetro L1800 | PowerMetro L2000 |
測(cè)量范圍(mm) | X | 1000 | 1200 | 1500 | 1800 |
Y | 1200 | 1500 | 1800 | 2000 |
Z | 200 |
技術(shù)指標(biāo)Technical Features |
影像攝取系統(tǒng) | SONY 1/2" High-resolution black & white CCD camera |
分辨率 | 0.1um |
重復(fù) | X/Y/Z=2.5um |
測(cè)量 | U1 x / y = (4.0+L/250)um |
U1 z = (4.0+L/250)um |
U2 x / y = (6.0+L/250)um |
光源照明系統(tǒng) | 同軸光(黃色LED) 輪廓光(黃色LED) 環(huán)光(黃色7向14位) |
雷射激光系統(tǒng) | Keyence LKG30 光點(diǎn)理論直徑:30um 工作范圍:+-4.5um 參照距離:30mm 光波長(zhǎng)度:650nm |
CCD兩種對(duì)焦模式 | 快速對(duì)焦(約1.5秒)& 高對(duì)焦 |
雷射對(duì)焦 | 單點(diǎn)對(duì)焦/掃描對(duì)焦 |
縮放倍率 | 1X物鏡 | 25X 50X 100X (分辨率:1280X1024 17") |
2X物鏡 | 50X 100X 200X (分辨率:1280X1024 17") |
焦距/工作范圍 | 1X物鏡 | 92mm/80~93mm |
2X物鏡 | 36mm/34~37mm |
機(jī)器特征Machine Features |
機(jī)器型式 | 花崗巖床臺(tái)固定橋式 |
機(jī)器重量(凈重/毛重) | 3800kg/4000kg | 4150kg/4400kg | 4500kg/4800kg | 4850kg/5200kg |
載荷 | 40kg |
運(yùn)行速度 | X、Y=350mm/s | Z=200mm/s |
加速度 | 1000mm/s2 |
系統(tǒng)特征System Features |
控制系統(tǒng) | 全自動(dòng)CNC控制系統(tǒng) |
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) | 四軸程控:三軸交流伺服馬達(dá)全閉回路控制,高精密級(jí)線性滑軌與預(yù)壓滾珠螺桿驅(qū)動(dòng),步進(jìn)馬達(dá)Zoom同軸控制鏡頭組 |
軟件配置 | 標(biāo)準(zhǔn) | Smart Inspector Pro3.0 |
選配 | 制程統(tǒng)計(jì)管制SPC模塊(網(wǎng)絡(luò)版);QV、VMS程序轉(zhuǎn)換系統(tǒng)PowerMetrix離線版;3D型狀誤差動(dòng)態(tài)分析軟件;CAD整合型報(bào)表;精密測(cè)量操作系統(tǒng)等 |
操作系統(tǒng) | Windows 7 |
外部工作環(huán)境Operating Environment |
電源 | 220V 50~60HZ >10A |
功率 | 2.0KW |
溫度范圍 | 20℃±2℃ 1℃/1h 2℃/24h 1℃/m |
濕度范圍 | 40%~70% |
電腦配置 | 可選(實(shí)際出貨以報(bào)價(jià)單為準(zhǔn)) |