| 主要規(guī)格參數(shù) |
| 傳感器探頭 | 15、30、50、100、230、300、400MHz或定制 |
| 掃描方式 | A-Scan：B-Scan：C-Scan：Multi-Scan：Bulk-Scan：LOBE：Q-BAM Tray-Scan：Zip Slice和3D：Thru-Scan |
| 掃描范圍 | 0.25mm x 0.25mm ~ 330mm x 330mm，能放置2個JEDEC標(biāo)準(zhǔn)托盤。 |
| 設(shè)備尺寸 | 寬1.8m x 深0.76m x高1.5m或彎角設(shè)計。 |
| 設(shè)備重量 | 570Kg |
| 電力和環(huán)境要求 | 1、115V~240V單相，50/60 Hz，電流15安培，功率3KW； 2、環(huán)境溫度在10~40℃，相對濕度：10%~85%。 |
| 掃描塔 | 獨(dú)立穩(wěn)定防震動掃描塔和機(jī)械裝置。 |
| 掃描 | 1、X / Y方向掃描分辨率為±0.1μm，業(yè)界分辨率。 2、Z方向探頭掃描分辨率為±5nm，業(yè)界分辨率。 |
| 掃描速度 | 1、標(biāo)稱1000mm/s，掃描平均速度高達(dá)710mm/s。 2、優(yōu)的掃描速度控制和電子限速，速在1000mm/s，以確保馬達(dá)始終工作在狀態(tài)，以快速度得到的圖像質(zhì)量。 3、以18.21mm X 13.66mm的掃描尺寸及256 X256的掃描分辨率的情況下，若掃描速度為355.6mm/s，掃描時間為19秒，若為選擇掃描速度508mm/s，則掃描時間僅為14秒。 |
