三維沖撞儀隨著工業(yè)自動化水平的不斷發(fā)展，產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)測、控制手段已經(jīng)成為保證產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)的不可缺少的一環(huán)。許多對裝配有較高要求的產(chǎn)品容感式加速度傳感器內(nèi)部也存在一個質(zhì)量塊，從單個單元來看，它是標(biāo)準(zhǔn)的平板電容器，加速度的變化帶動活動質(zhì)量塊的移動從而改變平板電容兩極的間距和正對面積，通過測量電容變化量來計算加速度。而熱感式加速度傳感器內(nèi)部沒有任何質(zhì)量塊，它的中央有一個加熱體，周邊是溫度傳感器，里面是密閉的氣腔，工作時在加熱體的作用下，氣體在內(nèi)部形成一個熱氣團，熱氣團的比重和周圍的冷氣是有差異的，通過慣性熱氣團的移動形成的熱場變化讓感應(yīng)器感應(yīng)到加速度值。由于壓電式加速度傳感器內(nèi)部有剛體支撐的存在，通常情況下，壓電式加速度傳感器只能感應(yīng)到"動"加速度，而不能感應(yīng)到"靜態(tài)"加速度，也就是我們所說的重力加速度。而容感式和熱感式既能感應(yīng)"動"加速度，又能感應(yīng)"靜態(tài)"加速度。由于沒有任何移動部件，而且采用了微機械加工技術(shù)，熱感式加速度傳感器的研發(fā)過程中解決了很多加工上的難題。目前已經(jīng)實現(xiàn)生產(chǎn)成本低，抗沖擊能力強，而且可靠性好，失效率低于10ppm。 熱感式加速度傳感器體積小，低功耗，工作電流應(yīng)在2mA以下，主芯片接口具備標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字接口模式?？梢蕴峁﹥蓚€方向的加速度值，采用兩片即可實現(xiàn)三維加速度值測量。