為了提供一種快速、可靠的在未切割的晶圓片上獲得力學(xué)數(shù)據(jù)的方法，我們的工程師開發(fā)出一種強(qiáng)大的解決方案— NANO Indenter XPW。配備一個(gè)可以支持試樣直徑達(dá)300毫米的樣品臺(tái)，該產(chǎn)品基本上可以滿足所有的工業(yè)需求。

基于業(yè)已成熟的 NANO Indenter 技術(shù)，XPW 對(duì)表面的表征可以達(dá)到幾個(gè)納米的量級(jí)。該尺度上的性質(zhì)，例如硬度與彈性模量對(duì)半導(dǎo)體裝置的產(chǎn)量、效能及壽命有著顯著的影響。作為一個(gè)獨(dú)特的系統(tǒng)，產(chǎn)品具有實(shí)用設(shè)計(jì) 、易于使用、簡(jiǎn)化測(cè)試的軟件接口、以及快速、簡(jiǎn)潔的樣品裝載特點(diǎn)。采用23位電子儀器及超常的數(shù)據(jù)采集速率，NANO Indenter XPW為您提供在儀器化納米壓痕系統(tǒng)上可獲得的準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。

類似于其它納米壓痕系統(tǒng)，XPW 使用金剛石壓頭產(chǎn)生一個(gè)可控的壓痕。隨著連續(xù)監(jiān)測(cè)壓頭的位移數(shù)值，設(shè)備產(chǎn)品可提供測(cè)試樣品的硬度、楊氏模量、斷裂韌性以及其它力學(xué)性質(zhì)和數(shù)據(jù)計(jì)算等。
 

Nano Indenter XPW 能夠配置可選真空樣品固定系統(tǒng)，這里顯示的是一個(gè)6英寸的晶圓片樣品臺(tái)。
 

NANO Indenter XPW 采用軟件控制，使用簡(jiǎn)單。操作人員僅僅需要決定在什么位置壓痕，以及進(jìn)行什么樣的實(shí)驗(yàn)。XPW 就可以自動(dòng)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測(cè)試，確保每個(gè)測(cè)試是一致的、合理的并且是準(zhǔn)確的。

系統(tǒng)部件
 

• NANO Indenter XPW 測(cè)試系統(tǒng)包括以下元件：
   

• 壓痕組元
   

• 帶鼠標(biāo)控制的機(jī)械化樣品操作臺(tái)
   

• 振動(dòng)隔離臺(tái)及環(huán)境隔離
   

• 光學(xué)成像系統(tǒng)
   

• 帶幀取樣軟件的像機(jī)
   

• 預(yù)置金剛石壓頭(Berkovich)
   

• 軟件控制、自動(dòng)定位
   

• 包括計(jì)算機(jī)、監(jiān)視器、鍵盤以及全自動(dòng)的數(shù)據(jù)采集與控制系統(tǒng)(基于 Windows 系統(tǒng))
   

• 全套 TestWorks 操作與數(shù)據(jù)分析軟件
   

• 彩色噴墨打印機(jī)
   

特色與優(yōu)勢(shì)
 

• 快速、準(zhǔn)確的納米力學(xué)表征
   

• 快速、準(zhǔn)確生成實(shí)時(shí)的測(cè)試結(jié)果
   

• 無需切割，節(jié)省時(shí)間與成本
   

• 全自動(dòng)測(cè)試－儀器運(yùn)行無需照管
   

• 自動(dòng)以 Microsoft Word 和 Microsoft Excel 格式測(cè)試結(jié)果