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硅片電阻測(cè)試儀 | |
硅片電阻測(cè)試儀是用來(lái)測(cè)量硅片、硅單晶、鍺單晶電阻率的測(cè)量?jī)x器。它由電氣測(cè)量部份(簡(jiǎn)稱(chēng):主機(jī))、測(cè)試架、四探針頭及測(cè)量軟件組成。 | |
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本套儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表,在測(cè)量電阻率的同時(shí),另一塊數(shù)字表(以萬(wàn)分之幾的)適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化,免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供為0.05%的恒流源,使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。主機(jī)配有恒流源開(kāi)關(guān),在測(cè)量某些薄層材料時(shí),可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護(hù)箔膜。主機(jī)配置了“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本套儀器使用專(zhuān)用軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)采集,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換向測(cè)量、存儲(chǔ),求平均值,值、小值、百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。 | |
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測(cè)量范圍 探針 恒流源 直流數(shù)字電壓表 供電電源 使用環(huán)境 重量、體積 |