| 品牌 | 日本明立精機(jī) | 型號(hào) | handysam |
| 這一系列的產(chǎn)品都有兩個(gè)空氣壓縮振蕩器；水平方向和垂直方向。使用MAPS系列產(chǎn)品，可以體會(huì)到卓越的除震(主動(dòng)抑制振動(dòng))和保持精密位置的性能。 主要特征： 隔振頻率范圍是被動(dòng)系統(tǒng)無(wú)法實(shí)現(xiàn)的； 大負(fù)載，可以為一個(gè)10 噸以上的設(shè)備提供防震； 的位置重復(fù)性能； 容易安裝； 高性能，但價(jià)位較高； 主要應(yīng)用： 納米科技領(lǐng)域 例如：MEMS應(yīng)用，原子力顯微鏡，原子成像設(shè)備等 半導(dǎo)體、液晶制造或檢測(cè)領(lǐng)域 例如：半導(dǎo)體傳送設(shè)備，半導(dǎo)體加工設(shè)備，液晶檢測(cè)儀器等 航空、航天、航海等特殊領(lǐng)域 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| MAPS系列規(guī)格（MAPS Series specificaiton） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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