- 品牌/商標(biāo)：Europlasma
- 企業(yè)類型：貿(mào)易商
- 新舊程度：全新
- 原產(chǎn)地：美國(guó)
產(chǎn)品介紹：
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反應(yīng)艙： 材料：鋁
有效尺寸：600 x 600 x 600mm
容積：216升
艙門：裝有可視窗口
托盤：5個(gè)。尺寸：562 x 660 x 40mm
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真空度測(cè)量：
皮拉尼真空計(jì)（利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來(lái)測(cè)量的，而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導(dǎo)率有關(guān)） - 真空泵：
旋片式真空泵；60m3 每小時(shí)；含真空泵油。 - 頻射發(fā)生器：
0~1000w可調(diào)，100KHZ發(fā)生器 - 控制系統(tǒng)：
觸摸屏操作，PLC控制系統(tǒng)
PLC可實(shí)現(xiàn)下列功能：
1、自動(dòng)控制反應(yīng)過(guò)程；
? 2、根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝流程；
? 3、測(cè)定真空泵壓力、抽真空時(shí)間、充氣速度、工作壓力、處理時(shí)間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標(biāo)；
? 4、監(jiān)測(cè)所有的運(yùn)行指標(biāo)，保證在設(shè)定范圍之內(nèi)；
? 5、 設(shè)定操作、維護(hù)密碼。 - 電源：
380V AC、三相、50Hz、40A. - 反應(yīng)氣體：
一個(gè)氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）；根據(jù)用戶需要，可擴(kuò)展 - 氣體輸入：
直徑1/4英寸（0.645厘米）管道；輸入壓力：1Bar. - 尾氣排放：
直徑28mm 輸出端口。 - 安全性能：
急停開關(guān)；真空泵保護(hù)鎖；高溫保護(hù)鎖；CE安全。
可選件：
- 300 m3/小時(shí) 的機(jī)械增壓泵
- 頻射發(fā)生器：2.45GHZ, 13.56MHZ
- 多個(gè)氣體輸入管道。
- 根據(jù)客戶工藝要求制作的軟件程序
- 根據(jù)客戶要求制作的托盤。
- 輥輪式載料系統(tǒng)。
- N2 Purge
