品牌 | 捷宇 | 產(chǎn)品型號 | JY-311V1.0 |
測量范圍 | 0.5-1.5 | 測量 | 0.1 |
外形尺寸 | 500X700X1500(mm) | 顯示方式 | LED/觸摸屏 |
工作環(huán)境 | 室內(nèi) |
藥水取樣盒
JY 311-VI.0各感應(yīng)器的測定原理
根據(jù)藥液比重增大浮力增大, 比重減小浮力減小的原理當藥液中銅離子含量增加或減小時, 藥液的浮力也會變大或減小, 浮力的變化使重量一定的浮球上升或下降, 浮球的升降會發(fā)生位置變化, 當比重達到設(shè)定值時 感應(yīng)器將其位能變化量轉(zhuǎn)換為電訊號傳遞給控制器, 控制器根椐電訊號判斷藥液比重的大小, 進行自來水添加來控制比重.
2.鹽酸感測器(HCL SENSOR): 電磁式(電能+動能→電能)
根據(jù)電磁感應(yīng)原理: 當電流通過感測器線圈時, 會產(chǎn)生磁束(磁力線). 該磁束會依藥液中鹽酸的離子濃度而產(chǎn)生一定比例電流, 再將此電流變化量加以數(shù)值化, 并轉(zhuǎn)換為電訊號傳給控制器, 控制器根據(jù)電信號判斷藥液中鹽酸的離子濃度是否正常, 而進行控制鹽酸添加.
另溫度感測器內(nèi)藏于鹽酸感測器之中, 用來檢知藥液溫度.
3.氧化劑感測器(NaCLO3 SENSOR): 電解式(電能→電能)
●H2O2(雙氧水)之概念及測定原理
雙氧水的氧化性很強,在氯化亞銅氧化為氯化銅的過程中,能增加蝕刻的速度,就再生劑而言,其扮演著很重要的角色。雖然,空氣中的氧也會產(chǎn)生再生反應(yīng),但是,一旦生產(chǎn)量增加時,氧的再生速度就來不及,所以為了促進蝕刻速度,作為氧化劑的雙氧水是不可缺少的。雙氧水傳感器,是將雙氧水做為蝕刻液再生反應(yīng)的促進劑。在小需要量下,控制適當?shù)奈g刻液濃度。因蝕刻速度的安定化和使用量的減少,可大幅提高品質(zhì)、降低成本。目的:即是以「如何使用小需要量的雙氧水來管理藥液品質(zhì)」作為參考量。
基于這樣的參考量,本再生控制器并不是管理雙氧水,而是檢測出蝕刻藥液的蝕刻能力;一方面用少的雙氧水來補足蝕刻液中,由氧氣(O2)再生的不足部份,一方面維持蝕刻生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
(1) 根據(jù)鹽酸的再生方式(空氣再生)
●雙氧水傳感器的測定原理
鉑金點在蝕刻液中反應(yīng)時,依據(jù)藥液的濃度和蝕刻能力(蝕刻速度)會產(chǎn)生荷量的變化。雙氧水傳感器會檢測出所發(fā)生的電荷量(出力),并傳送到“ALTEC”控制器。“ALTEC”控制器再將雙氧水濃度和蝕刻速度等的相關(guān)資料入力;雙氧水傳感器所得到的出力在控制器上計算并顯示。其單位不是MOL/L(濃度)而是用MV來表示。
●一價銅離子和二價銅離子的含量對于測定值而言會有何變化?
當基板的銅(Cu)溶解于蝕刻藥液(CuCl2)中,二價銅會轉(zhuǎn)變?yōu)橐粌r銅。(隨著銅的溶解,電位值既ORP值會下降)。一價銅和HCl會因空氣中的O2而產(chǎn)生再生反應(yīng)。但是,生產(chǎn)量大時,空氣的O2來不及再生的部份,便需要H2O2做氧化劑。
當一價銅一增加,ORP值就會下降,而蝕刻液中的一價銅再生為二價銅時,ORP值就會上升.
4:使用範圍
JY311-V1.0控制器使用與PCB酸性蝕刻,及三氯化鐵的五金蝕刻。