| 品牌 | YOKOGAWA | 型號(hào) | OX400 |
| 類型 | 泵吸式氧氣檢測(cè)儀 |
OX400可用于控制和監(jiān)視各種半導(dǎo)體應(yīng)用，并控制環(huán)境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過(guò)程。
用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐和烘干爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制，用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產(chǎn)工藝中氧氣濃度的測(cè)量，測(cè)量氧氣濃度，防止粉塵運(yùn)輸中粉塵爆炸。
主要技術(shù)參數(shù)：
測(cè)量對(duì)象 | 惰性氣體中的氧氣濃度 | ||||
測(cè)量系統(tǒng) | 氧化鋯系統(tǒng) | ||||
采樣方法 | 泵式、抽提式等 | ||||
樣氣條件 | 流速：200±25ml/min(僅適用于傳感器) | ||||
測(cè)量量程 | 0～10ppm O2至0～100vol% O2 | ||||
輸出量程 | 自動(dòng)： | 0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～100%(默認(rèn)) | |||
固定： | 設(shè)為0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～100% | ||||
部分： | 可設(shè)置下限值或上限值 | ||||
模擬輸出 | 2路輸出，第一路：4～20mA DC(負(fù)載電阻550Ω)，第二路：可選為0～1，0～5，0～10V DC(負(fù)載電阻：10kΩ或更大) | ||||
接點(diǎn)輸出 | 報(bào)警輸出2點(diǎn)： | 錯(cuò)誤接點(diǎn)，O2濃度報(bào)警接點(diǎn) | |||
指定量程范圍輸出1點(diǎn)： | 接點(diǎn)輸出 | ||||
多選擇器(選配件)： | 流路切換接點(diǎn)輸出和測(cè)量中流路信息接點(diǎn)輸出 | ||||
接點(diǎn)輸入 | 1點(diǎn)：采樣氣體吸入泵的遠(yuǎn)程ON/OFF | ||||
自診斷 | 故障： | 傳感器錯(cuò)誤，加熱器溫度錯(cuò)誤，溫度傳感器斷開，設(shè)備溫度錯(cuò)誤，CPU錯(cuò)誤，F(xiàn)AN停止 | |||
報(bào)警： | 加熱器不穩(wěn)定，傳感器錯(cuò)誤，電動(dòng)勢(shì)異常，非對(duì)稱電壓錯(cuò)誤錯(cuò)誤，標(biāo)定錯(cuò)誤，傳感器電阻錯(cuò)誤，O2濃度上/下限，超限 | ||||
串口通信 | RS-232，38400 bps | ||||
標(biāo)定方法 | (1)3點(diǎn)：10ppm，1000ppm，空氣，(2)2點(diǎn)：可設(shè)定為零點(diǎn)氣和量程氣標(biāo)定，(3)1點(diǎn)，(4)空氣標(biāo)定 | ||||
暖機(jī)時(shí)間 | 20分以內(nèi) | ||||
電源 | 100～120V AC/220～240V AC，50/60Hz | ||||
功耗 | 100～120V AC，200VA ，220～240V AC，400 VA | ||||
尺寸 | 213 (W) x 132 (H) x 約375 (D) mm | ||||
質(zhì)量 | 約5kg | ||||
管線連接 | 氣體入口：Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋 | ||||
環(huán)境條件 | 安裝條件： | 室內(nèi)，盤裝或壁裝，非易燃區(qū)域 | |||
環(huán)境溫度： | 0～40℃，無(wú)結(jié)露 | ||||
環(huán)境濕度： | 5～85%RH | ||||
儲(chǔ)存溫度： | -5～50℃ | ||||
重復(fù)性 | ±1%F.S.(10，100，1000 ppm，1%，10%或100%) | ||||
線性 | ±2%F.S. | ||||
響應(yīng)時(shí)間 | 90%響應(yīng) | ||||
漂移 | ±2%F.S./周 | ||||
