| 品牌 | 硅谷 | 型號 | FS1015 |
| 種類 | 流量 | 材料物理性質(zhì) | 半導(dǎo)體 |
| 材料晶體結(jié)構(gòu) | 多晶 | 制作工藝 | 集成 |
| 輸出信號 | 線性，模擬0.5~4.5V（可選RS232） | 防護等級 | IP65 |
| 線性度 | ?（1.5% 0.2%FS）（%F.S.） | 重復(fù)性 | ±0.75%（%F.S.） |
| 漂移 | 0.12 |
簡介
FS1015系列微機電氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類醫(yī)學(xué)用氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。產(chǎn)品采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計。
產(chǎn)品優(yōu)特點與應(yīng)用
1、傳感器靈敏度高，有極小的始動流量
2 、持多種連接方式，易于安裝與使用
3、傳感芯片上實現(xiàn)了多傳感集成，使其量程比達到了100：1甚至更高
4 、輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
5 、零點穩(wěn)定高
6 、全量程高穩(wěn)定性、高度和優(yōu)良的重復(fù)性
7、低功耗、低壓損<1300pa
8 、響應(yīng)速度快
