度（包括線性度） | ±1.5%滿量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到25℃）和5到60psia （0.4到4.1bar）的壓力。可選±1%滿量程（鑒定校準(zhǔn)量程）與給定的溫 度與壓力值有聯(lián)系。 |
重復(fù)性 | ±0.5%滿量程 |
回應(yīng)時間 | 實際流速±2%超過滿量程25-100%一般2秒 |
溫度系數(shù) | 0.15%滿量程/℃ |
壓力系數(shù) | 0.01%滿量程/psi(0.07bar) |
適宜氣體壓力 | 25 psig(1.73bar) |
氣體壓力 | 1000 psig(70bar) |
壓差 | GFC17和GFC37 50psi（3.4bar） GFC47 40 psi（2.7bar） |
氣體和周圍溫度 | 41℉-122℉（5℃-50℃） |
流體接觸面材質(zhì) | A：GFM鋁系列為陽極電鍍鋁、316不銹鋼、銅和維托圓環(huán) B：GFM17S，37S，47S，57S，67S和77S不銹鋼系列：316不銹鋼、維 托圓環(huán)、可選氯丁橡膠圓環(huán)。 |
方位靈敏度 | 水平到垂直旋轉(zhuǎn)低于15度；標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)是在水平位置 |
輸出信號 | 線性度0-5Vdc,小1000ohms。負(fù)載電阻4-20mA 0-500 ohms回路電阻，噪音±20mA |
命令信號 | 0-5 Vdc模擬模式 4-20mA遠(yuǎn)程模式 |
連接 | GFC17和37：1/4”卡套螺紋 GFC17可選VCR®或1/8”卡套螺紋 GFC47：3/8”卡套螺紋 GFC57：3/8”卡套螺紋 GFC67：1/2”卡套螺紋 GC77：3/4”FNPT螺紋可選VCR®或3/4”卡套螺紋 |
傳感器輸出電源 | +12 Vdc；200ohms。+24Vdc可選 |
電源保護(hù) | 電路板有內(nèi)置電極反轉(zhuǎn)保護(hù)保險絲可以重新調(diào)整提供電源輸入保護(hù) |
顯示 | 0.5”高，3-1/2數(shù)字LCD顯示， |
| AFC高精型質(zhì)量流量控制器 |
Aalborg Instruments & Controls, Inc是世界上的氣體質(zhì)量流量計/控制氣的生產(chǎn)廠家，其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學(xué) 、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)域。 |
AFC型質(zhì)量流量控制器是為顯示和控制氣體流量而設(shè)計的。 |
在標(biāo)稱范圍內(nèi)流量不受溫度和壓力的影響。 |
設(shè)計性能： |
| ·不銹鋼構(gòu)造 | |
| ·壓力500psig(34.5bars) |
| ·0~5Vdc或4~20mA信號 |
| ·集成漏率1*10-9sml/sec (He) |
| ·度±1%F.S |
| ·備選總量計數(shù)器 |
| ·具電路保護(hù)功能 |
| |
技術(shù)參數(shù)： |
1.度: ±1% 滿量程度FS (線性范圍:氣體T=15~25℃,壓力=0.7~4.1bas);±2%F.S (線性范圍:氣體T=5~50℃,壓力=0.35~10.3bars) |
2.重復(fù)性: ±0.2%F.S |
3.時間常數(shù): AFM系列—300ms |
AFC2600 (Qmax=15sL/min)—300ms |
AFC3600 (Qmax=50sL/min)—600ms |
AFC4600 (Qmax=100sL/min)—600ms |
4.響應(yīng)時間: AFM系列在設(shè)置流速(25~100% F.S)的±2%變化值之內(nèi)的響應(yīng)時間大約為1秒 |
5.溫度系數(shù): ±0.1%F.S/℃ |
6.壓力系數(shù): ±0.01%F.S/psi(0.07bars) |
7.氣體壓力: 25 psig(1.73bars) |
8.的氣體壓力: 500 psig(34.5bars)max.標(biāo)準(zhǔn)校正壓力為20psig(14bars)進(jìn)氣口壓力 |
9.氣體和環(huán)境溫度: 5℃~50℃ |
10.漏率:漏率1*10-9smL/sec (He) |
11.流體接觸材料: 316或416不繡鋼, Viton O型圈,備選O型圈:Neoprene或Kalrez |
12.安裝敏感性: 傾斜度不大于±15%,標(biāo)準(zhǔn)校正安裝姿勢為水平位置 |
13.輸出信號:0~5V (2000Ωmin,負(fù)載阻抗);4~20mA(0~500Ω,線圈電阻)線性的直流電信號。的峰值噪音20mV |
14.連接口: AFM/AFC2600,AFM/AFC3600 -1/4” compression,fittings, AFM/AFC4600 - 3/8” compression fittings. |
備選1/8” or 3/8” compression fittings or 1/4” VCR® fittings |
15.傳感器輸入功率：AFM/AFC2600 ±15 ± 5% Vdc, 80 mA max,1.2W; ±15 ± 5% Vdc, 200 mA max, 3W; |
AFC3600/AFC4600 ±15 ± 5% Vdc, 220 mA max, 3.3W; ±15 ±5% Vdc, 600 mA max, 9W. |
16.電路保護(hù)：電路具極性方向保護(hù)，可更換的保險絲提供電源輸入保護(hù)。 |
