| 品牌 | 美國(guó)MKS | 型號(hào) | M100B |
| 類型 | 質(zhì)量流量計(jì) | 測(cè)量范圍 | 3.4（m3/h） |
| 等級(jí) | 全量程的1% | 公稱通徑 | 6.35（mm） |
| 適用介質(zhì) | 氣體 | 工作壓力 | 0.35（MPa） |
| 工作溫度 | 45（℃） |
彈性密封質(zhì)量流量控制器（通用型）
M100B是一種通用的彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在生產(chǎn)，分析，工業(yè)以及測(cè)試等多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制有腐蝕性氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。
對(duì)于當(dāng)今市場(chǎng)上的質(zhì)量流量控制器，M100B可作為直接替代的產(chǎn)品，標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使M100B能夠直接進(jìn)行安裝而無需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有模擬通訊模式，其為全量程的1%。
技術(shù)參數(shù)：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM，30000SCCM，50000SCCM（可選）
控制量程：2% to 100% 的全量程。
測(cè)量：全量程的1%
靈敏度：全量程的0.1%
熱機(jī)時(shí)間：小于2Min.
響應(yīng)速度：小于2Sec.
輸入電壓：±15VDC@100ma
輸出電壓：0-5VDC
連接器：模擬： 9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
數(shù)字：RS485或Device net或Profibus
法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等
材質(zhì)：316 不銹鋼
