Alicat 隆重推出款雙向質量流量控制器，可正向或反向控制流經氣體的流量，或用于控制密閉系統(tǒng)內的流量而無需額外排氣閥。通用的流量控制器：雙向測量氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度控制來自壓縮氣體或真空泵的氣體的質量流量或體積流量控制流經氣體的壓力或背壓控制密閉系統(tǒng)內壓力(自帶排氣)22系列亦有 腐蝕型號和 低壓損型號可選。產品參數：可控制從-0.5 ～ +0.5 SCCM 到-3000 ～ +3000 SLPM的滿量程的任何流量，量程可調比為200：1&重復性：±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)   (注：該處F.S.為雙向滿量程之和)控制響應時間：＜100毫秒入口壓力：145 Psig (22 & 腐蝕型號)、50 Psig (低壓損型號)2.1″ 英寸單色數字顯示屏(可選配TFT背光彩色顯示屏)兼容氣體列表下列30種氣體均含標定曲線圖，兼容于標準的Alicat 質量流量計&質量流量控制器，用戶可通過面板操作直接切換氣體，無需因改變氣體而重新標定設備。Air – 空氣 Ne – 氖氣 C-25 – 75% 氬氣 + 25% 二氧化碳Ar – 氬氣 O2 – 氧氣 C-10 – 90% 氬氣 + 10% 二氧化碳CH4 – 甲烷 C3H8 – 丙烷 C-8 – 92% 氬氣 + 8% 二氧化碳CO – 一氧化碳 N-H10 – 正丁烷 C-2 – 98% 氬氣 + 2% 二氧化碳CO2 – 二氧化碳 C2H2 – 乙炔 C-75 – 75% 二氧化碳 + 25% 氬氣C2H6 – 乙烷 C2H4 – 乙烯 A-75 – 75% 氬氣 + 25% 氦氣H2 – 氫氣 I-H10 – 異丁烷 A-25 – 75% 氦氣 + 25% 氬氣He – 氦氣 Kr – 氪氣 A1025 – 90% 氦氣 + 7.5% 氬氣 + 2.5% 二氧化碳 (Helistar A1025)N2 – 氮氣 Xe – 氙氣 Star29 – 90% 氬氣 + 8% 二氧化碳 + 2% 氧氣 (Stargon CS)N2O – SF6 – 六氟化硫 P-5 – 95% 氬氣 + 5% 甲烷