品牌 | 天準(zhǔn) | 型號(hào) | VMG |
分辨率 | 0.001(mm) | 測(cè)量行程 | 1520×1220×200(mm) |
放大倍率 | 236X | 操作方式 | 鼠標(biāo)自動(dòng)控制 |
型號(hào) | VMG662 | VMG962 | VMG1292 | VMG15122 | |
行程(mm) | 620×620×200 | 920×620×200 | 1220×920×200 | 1520×1220×200 | |
外部尺寸(mm) | 1320×1040×1620 | 1620×1040×1620 | 2000×1400×1620 | 2300×1700×1620 | |
重量(kg) | 850 | 1100 | 1300 | 2000 | |
承重(kg) | 80 | 80 | 80 | 80 | |
測(cè)量 | XY軸* | E2=(3.0+L/200)µm | E2=(4.5+L/200)µm | ||
Z軸** | E1=(5.0+L/200)µm | ||||
速度 | XY軸 | 300mm/S | |||
Z軸 | 100mm/S | ||||
光柵尺 | Renishaw光柵尺,0.4µm分辨率 | ||||
CCD | SONY 1/2"CCD黑白/彩色 | ||||
光源 | 輪廓光 | LED冷光源,256級(jí)亮度可調(diào) | |||
表面光 | 6環(huán)8區(qū)LED冷光源,各段操控,256級(jí)亮度可調(diào) | ||||
同軸光 | LED冷光源,256級(jí)亮度可調(diào) | ||||
光學(xué)系統(tǒng)*** | Navitar 6.5:1可變倍,放大倍率29~163或58~326 | ||||
軟件 | Vispec測(cè)量軟件(高端版) | ||||
運(yùn)動(dòng)控制 | 自主的CNC直流伺服系統(tǒng) | ||||
保修期 | 1年 | ||||
工作環(huán)境 | 溫度20℃&plun;2℃,溫度變化<2℃/hr,濕度30~80% | ||||
振動(dòng)<0.002g,低于15Hz | |||||
電源 | 220V/50Hz/10A |