品牌 | JT | 型號(hào) | 大行程影像測(cè)量?jī)x |
分辨率 | 0.005(mm) | 測(cè)量行程 | 其他(mm) |
操作方式 | 程序控制 | 測(cè)量 | 1 |
外形尺寸(長(zhǎng)*寬*高) | 1(mm) |
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工作臺(tái) | 金屬臺(tái)面尺寸(mm) | 760×640 | 800×550 | 800×800 | 750×1000 | 1140×1360 | 1340×1660 | |||||||||
玻璃臺(tái)面尺寸(mm) | 550×350 | 650×450 | 650×650 | 650×850 | 1050×1250 | 1250×1550 | ||||||||||
運(yùn)動(dòng)行程(mm) | 500×300 | 600×400 | 600×600 | 600×800 | 1000×1200 | 1200×1500 | ||||||||||
Z軸升降行程 | 2000mm | |||||||||||||||
工作距離 | 92mm | |||||||||||||||
X、Y、Z數(shù)顯解析度 | 1μm | |||||||||||||||
X、Y坐標(biāo)示值誤差 | ≤(3+L/200)μm | |||||||||||||||
影像系統(tǒng) |
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測(cè)量系統(tǒng) | Mclns全自動(dòng)測(cè)量軟件 |