類(lèi)型 | 白光干涉儀 | 品牌 | 臺(tái)智 |
型號(hào) | 1510 | 品種 | 其他干涉儀 |
測(cè)量范圍 | 400um | 用途 | 晶圓,精密機(jī)電 |
產(chǎn)品特點(diǎn)及用途 |
結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡,結(jié)合顯微物鏡與干涉儀,不需要復(fù)雜光路調(diào)整程序、兼顧體積小、納米分辨率、、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)、可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測(cè)量,種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測(cè)。應(yīng)用領(lǐng)域包含: |
★ 晶圓(Wafer)★ 光盤(pán)/硬盤(pán)(DVD Disk/Hard Disk)★ 微機(jī)電組件(MEMS Components)★ 平面液晶顯示器(LCD)★ 高密度線路印刷電路板(HDI PCB)★ IC封裝(IC Package) 以上其它材料分析與組件微表面研究 |