雙頻激光干涉儀主要用作計量中的長度基準(zhǔn)，隨著機(jī)床的不斷，激光干涉儀現(xiàn)已成檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)位置的理想工具。同時雙頻激光干涉儀又是一種高的位移傳感器，可直接安裝在高機(jī)床及坐標(biāo)測量機(jī)上，作為坐標(biāo)系統(tǒng)，大大機(jī)床及坐標(biāo)機(jī)的定位。除了長度測量外，儀器可根據(jù)用戶需要配置各種光學(xué)附件，測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差；還可按預(yù)定的間距自動完成檢測和精密刻劃的工作，因此雙頻激光干涉儀在微電子加工以及納米測量上有的作用。

提供成都科豐芯緣KF-C型雙頻激光干涉儀 技術(shù)指標(biāo)

分辨率：     0.01μm

測量速度：     200mm/s

測量距離：     25m 

提供成都科豐芯緣KF-C型雙頻激光干涉儀 波長補(bǔ)償系統(tǒng)：

                大氣壓力            空氣溫度  淘寶導(dǎo)購       材料溫度

測量范圍：    300～1100mba      0～40℃          0～40℃

分辨率：      0.1mba              0.01℃         0.001℃（或0.03℃）

精   度：     &plun;0.5mba             &plun;0.2℃      &plun;0.05℃（或0.06℃）.