| 類型 | 電子顯微鏡 | 品牌 | 日本電子 |
| 型號 | IB-09010CP |
凝聚了日本電子公司科技人員多年的夢想與實踐
- 不管是用機械研磨法制備的樣品，還是軟硬材質(zhì)混合的復(fù)合材料，夠制備出光滑的截面。
- 可以獲得平滑的鏡面拋光效果。與機械研磨法相比，使用截面拋光儀（CP）制備的樣品變形小、晶體結(jié)構(gòu)不易破壞，因而適合于晶體取向分析（EBSD）的前處理。
- 能夠制備出寬度大約為1mm的大截面。
適合于鍍層及電子元件的失效分析。 - 采用觸控式面板，操作簡單。
IB-09010CP的特點
- 彩色液晶觸控式面板操作:彩色液晶屏顯示加工條件，一目了然。通過觸摸屏即可設(shè)定加工條件。
- 標(biāo)準(zhǔn)配置的CCD相機，用于確定加工位置:屏幕畫面便于觀察，容易對準(zhǔn)加工位置。
- 離子加速電壓 為８ｋV （選配）:了研磨速度。標(biāo)準(zhǔn)的加速電壓為６ｋV。
SEM應(yīng)用圖例
紙張截面
| 使用剃刀片等制作紙張截面時，紙纖維的損傷無法避免。從圖中可以看出，使用CP制備的截面損傷較小。 | |
| CP制備的截面（背散射電子圖像） | C Kα (EDS) |
| Si Kα (EDS) | Ca Kα (EDS) |
金線焊接
制備金等軟質(zhì)材料的截面樣品時不會對其造成損傷，另外它還適合于對焊接結(jié)合部的焊點進(jìn)行評估。采用傳統(tǒng)機械研磨法制備樣品會損壞焊點，研磨的磨料嵌入金內(nèi)部甚至?xí)鸾缑鎸觿冸x，形成研磨損傷，而采用截面拋光儀（CP）制備截面樣品則能避免這類損傷。
| 背散射電子圖像 | 背散射電子圖像 |
主要技術(shù)規(guī)格
| 2～6kV |
| 500μm(FWHM) |
| 100μm/H (2小時的平均值，加速電壓:6kV，硅換算， 邊緣距離:100μm) |
| 11mm（寬）×10mm（長）×2mm（厚） |
| X軸 &plun;10mm Y軸 &plun;10mm |
| &plun;5º |
| &plun;30º(申請中) |
| 觸控式面板 |
| 氬氣(由質(zhì)量流量控制器控制流量) |
| 潘寧真空計 |
| 渦輪分子泵 |
| 機械泵 |
| 主機 545 mm(寬)×550 mm(長)×420 mm(高) 64kg |
| 150 mm(寬)×427 mm(長)×230.5 mm(高) 16kg |
| 加速電壓8 kV 單元 旋轉(zhuǎn)樣品臺 高定位CCD相機 |
安裝條件
| 單相100～120V&plun;10%、50/60Hz、0.5～0.6kVA |
| 地線(100Ω以下) |
| 使用圧力: 0.15&plun;0.05MPa(1.0～2.0kg/cm²) 于99.9999%(氬氣、氣瓶及調(diào)壓器由客戶自行準(zhǔn)備。) 膠管接頭: JIS B0203 Rc 1/4 |
| 20～25℃(變動: 1℃/h以內(nèi)) |
| 小于60% |
