類型 | 金相顯微鏡 | 品牌 | CEWEI |
型號 | LW300MT | 儀器放大倍數(shù) | 50X-800X |
目鏡放大倍數(shù) | WF10X18MM | 物鏡放大倍數(shù) | PL5X PL10X PLL20X PLL40X PLL80X |
適用范圍 | 硅、砷化鎵、磷化銦等基片6″8″盤的生產(chǎn)工藝檢查;可以方便的快移和的位移檢查;也可以適用其它需較大面積標本的工藝檢查 |
一、LW300MT硅芯片檢查顯微鏡用途
LW300MT硅芯片檢查顯微鏡專為微電子行業(yè)量身定做,適用于硅、砷化鎵、磷化銦等基片6″8″盤的生產(chǎn)工藝檢查;可以方便的快移和的位移檢查;也可以適用其它需較大面積標本的工藝檢查
二、LW300MT硅芯片檢查顯微鏡主要技術(shù)參數(shù)
1、鏡筒:B雙目,傾斜30°(本儀器主機含三目攝像接筒裝置)
2、大視野目鏡:WF10Xф18mm
3、長工作距離平場物鏡:PL5X,PL10X,PLL20X,PLL40X(S),PLL80X(S)
4、轉(zhuǎn)換器:五孔
5、總放大倍數(shù):50X~800X
6、載物臺:三層機械移動,尺寸280×270mm,移動范圍204mm×204mm
7、調(diào)焦:粗微動同軸,升降范圍25mm,微動格值0.0007mm,帶鎖緊和限位裝置
8、光源:反射柯勒照明,透反射照明鹵素燈6V20W,亮度可調(diào),反射照明帶起偏振片
9、正交偏光裝置
三、LW300MT硅芯片檢查顯微鏡選購件
1、目鏡:12.5X、16X、20X
2、帶尺可調(diào)目鏡:HWF10X(0.01mm或0.005mm)
3、物鏡:平場物鏡:PL4X,PL5X,PLL25X,PLL50X,PLL60X,PLL80X,PLL100X(S)干鏡
4、軟件:金相分析軟件、粒度分析軟件、測量軟件等式
5、電腦圖像分析系統(tǒng):
金相分析系統(tǒng):LW300MT主機、圖像適配鏡、數(shù)碼攝像頭、金相分析軟件、電腦
電腦型:LW300MT主機、圖像適配鏡、數(shù)碼攝像頭、電腦
數(shù)碼型:LW300MT主機、圖像適配鏡、數(shù)碼相機、電腦