自動白光干涉儀SIS 2000的詳細(xì)信息

基本信息品牌：SNU型號：SIS 2000操作方式：自動功能：檢測、觀察、分析 ：1nm其它型號：SIS 1200   產(chǎn)品介紹    白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術(shù)，是專為準(zhǔn)確測量表面輪廓、粗糙度、臺階高度和其他表面參數(shù)而設(shè)計的微納米測量系統(tǒng),，為韓國SAMSUNG指定供應(yīng)商，LPL友好俱樂部成員，清華大學(xué)，臺灣大學(xué)，首爾大學(xué)友好合作伙伴。產(chǎn)品特點1、非接觸式測量：避免物件受損。
2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號處理器：實現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。
6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。
8、測量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強大而快速的運算。
技術(shù)參數(shù)機型SIS 2000工作臺尺寸350mm×350mm傾斜度±3°測量行程X:200mm  Y:200mmZ軸行程100mm運動方式自動，馬達(dá)驅(qū)動掃描速度30μm/sec垂直分辨率