- 原產(chǎn)地：IPHONE5煙臺(tái)微波
CMS系列試驗(yàn)/實(shí)驗(yàn)用微波真空高溫管式爐專門(mén)設(shè)計(jì)用于高溫工藝,如ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、氮化硅渡膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、陶瓷電容器（MLCC）氣氛燒結(jié)等等。 窯爐采用氧化鋁纖維制品隔熱、保溫，進(jìn)口優(yōu)質(zhì)微波源加熱，優(yōu)質(zhì)剛玉管爐膛, 系統(tǒng)可預(yù)抽真空，氣體采用浮子流量計(jì)控制。進(jìn)口單回路智能溫度控制儀控制，設(shè)備具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)，是理想的科研設(shè)備。
一、試驗(yàn)/實(shí)驗(yàn)用微波真空高溫管式爐技術(shù)指標(biāo)：
設(shè) 備 型 號(hào) | NT-CVD(G)-08/50/1 |
溫區(qū)溫度 | 1650℃；(長(zhǎng)恒溫時(shí)間：≥10小時(shí))； |
加熱有效容積 | Φ72（內(nèi)經(jīng)）×500mm;恒溫區(qū)尺寸：Φ72（內(nèi)經(jīng)）×250mm |
爐管實(shí)際尺寸 | Φ80（外徑）×1400mm （國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)剛玉管） |
爐 膛 材 料 | 氧化鋁纖維制品 |
控制溫區(qū)點(diǎn)數(shù) | 1個(gè)，1支B分度熱偶 |
設(shè)備溫場(chǎng)溫差 | ±1℃ ，日本島電進(jìn)口40段程序控制儀表(1只) |
加 熱 元 件 | 優(yōu)質(zhì)進(jìn)口微波源 |
加熱功率 | 4Kw |
保 溫 功 率 | 1kw |
升溫速率 | 10℃∽120℃/min; |
降溫速率 | 3℃∽7℃/min |
溫度均勻性 | ±3℃(有效范圍：Φ72×250mm) |
氣路配件材料 | 氣路配件材料，端頭不銹鋼發(fā)蘭密封，一路氣體采用浮子流量計(jì)控制,所有管道和閥門(mén)采用不銹鋼元件 |
極 限 真 空 | ≤10Pa（常溫） ,機(jī)械泵（配電磁閥）。 |
壓升率 | ≤5Pa/h |
