| 配置方式 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 立式、臥式配置 平面總成，球面總成 靜態(tài)測量，相位移調(diào)制測量 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 附件 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 標準平面和球面參照鏡 與ZYGOTM參照鏡相容 標準衰鏡 干涉儀支撐/調(diào)整用四腳座 參照鏡傾斜調(diào)整座 水平七軸調(diào)整座 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| IntelliWaveTM分析 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 干涉條紋靜態(tài)與相位移調(diào)制分析 完整的分析工具、影像加工、以及幾何影像轉(zhuǎn)換 干涉圖轉(zhuǎn)換成光學(xué)（OPD）或表面地圖（surface map） 自動反復(fù)測量或自動化分析功能 相互連接Lab VIEW 、Research Systems IDL 、Math Work、Matlab和Microsoft Excel軟件 1. 蜂谷值（PV ，Peak-to-Valley） 是取得長度上，測量高度點與點間的距離 2. 均方根值（RMS，Root-Mean-Square）是取樣長度上，距離高度中心線的均方根偏差值。 3. 三平面檢定方（3-Flat Test ）使用三個平面參照鏡相互檢測的測量方式。 4. 重復(fù)性（Repeatability）的定義：對相同的組件進行100次量測，而每組量數(shù)據(jù)是由20個數(shù)據(jù)平均后取得，100組測數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析，定義重復(fù)性即是一個標準差值。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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